技術應用鏈接:
特點：
· 用于不同材料表面的處理
· 手動模式
· 經濟型等離子清洗機，小型腔體
· 適合于研究院、高校、研發中心使用
· 操作簡單易使用
規格：
型號 | ZEPTO ONE | |
控制系統 | 手動控制 | |
工藝氣路 | 單路氣體 | |
工藝氣體 | O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等 | |
流量計 | 針閥流量計 | |
單體導入 | H2O等單體（選配） | |
真空 腔體 | 材質 | 高硼硅玻璃，蓋子門帶觀察窗（石英選配） |
內尺寸(Dia.×D) | 105mm×200mm | |
容積 | 1.7L | |
電極 | 360度外置環繞電極 | |
發生器* | 100KHz 0~30W 13.56MHz 0~30W | |
托盤 | 高硼硅玻璃，（石英選配） | |
外形尺寸（WXDxH）mm | 269x324x176 | |
電源 | AC220V 50Hz 10A | |
真空泵 | 排氣速度4m3/H | |
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關鍵詞:
Diener
等離子清洗機
ZEPTO ONE
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