技術應用鏈接:
特點
· 低壓等離子系統，用于不同材料表面的處理
· 配置自動/手動模式，實現控制高機能
· 中型尺寸腔體可處理多種樣品
· 適合于研究院、高校、研發中心使用
技術規格：
型號 | NANO | NANO PCCE | |||
控制系統 | 手動控制 | PCCE 控制系統 | |||
工藝氣路 | 雙路或三路氣體 | ||||
工藝氣體 | O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等非腐蝕性氣體或者CF4 、SF6等腐蝕性氣體 | ||||
單體導入 | H2O，親疏水涂層等單體（選配） | ||||
流量計 | 針閥流量計（防腐蝕） | MFC流量計（防腐蝕） | |||
真空 腔體 | 材質 | 高硼硅玻璃/石英 蓋子門/鉸鏈門帶觀察窗 | 不銹鋼 蓋子門/鉸鏈門帶觀察窗 | 鋁合金腔體 鉸鏈門 | |
圓形腔體內尺寸(Φ×D)mm | 240×400(600) *1 | 267×420（600）*1mm | — | ||
方形腔體內尺寸 （W×D×H）mm | — | 240×420（600）*1×240mm | 240×420（600）*1×240 | ||
容積 | 18L~27L | 24L~34L | 24L~34L | ||
電極 | 360度外置環繞電極 | 平行平板電極 | |||
發生器*
| 100 kHz 0-500W 80 kHz 0-1000W 13.56 MHz 0-100W 或者0-300W 或者 0-600W 2.45 GHz 0-600W | ||||
真空壓力計 | 指針式壓力計 | 皮拉尼數字式壓力計 | |||
計時器 | 模擬數字式 | 數字式 | |||
托盤 | 高硼硅玻璃（石英選配），不銹鋼 | ||||
外形尺寸（WXDxH）mm | 560x600-750x600-860mm | ||||
電源 | AC220V 50Hz 10A | ||||
真空泵 | 排氣速度不小于16m3/H | ||||
未找到相應參數組，請于后臺屬性模板中添加
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