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廣州競贏化工科技有限公司
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美國NEOCERA公司 應用Neocera公司的使命是為研究新型*薄膜材料和器件的科學家和工程師提供服務
美國NEOCERA公司 |
應用
Neocera公司的使命是為研究新型*薄膜材料和器件的科學家和工程師提供服務。我們通過以下手段來實現此目標：
l 發展在材料科學和器件工程方面的基礎競爭力
l 在薄膜制造方面，提供的脈沖電子束鍍膜（PED）和脈沖激光鍍膜（PLD）設備
l 提供的技術支持
l 參與共同的研究與開發
Neocera公司是一家PED 和PLD設備的增值供應商。在PED 和PLD科學和技術的前沿方面，我們提供的解決方案；我們的設備和實際經驗將幫助解決你們的問題。
另外，Neocera公司參與政府部門和工業客戶的前沿的研究與開發；作為材料科學家，我們了解你們的需要。
技術指標
一、 PED-120系統的技術指標
l PEBS-20脈沖電子源和電源
l 真空腔：直徑12"
Ø 額定基壓：<1x10-6 Torr
l 基片加熱器，直徑2"，帶控溫器
Ø 氧氣可達大氣壓力
Ø 溫度：950 °C
Ø 溫度均勻性：±5 °C
Ø 溫度穩定性：±1 °C
Ø 基片加熱器檔板
l 靶盒，手動控制
Ø 可放置6個1"的靶或3個2"的靶
Ø 靶與法蘭的距離：4"
l 氣路
Ø 質量流量計控制進入真空腔的流量，量程100sccm
Ø 控制采用單通道設置/數值顯示
l 真空泵系統
Ø 260 l/s 帶冷阱的渦輪分子泵，高真空泵
Ø 4 m3/hr無油機械泵
Ø 8"閘板閥，手動控制
Ø 排氣/出氣閥，用于氧氣的安全操作
l 真空計，顯示讀數
Ø 冷陰極型
Ø 對流型
l 系統框架
Ø 占地面積：22”W x 34”D
Ø 空間： 30”W x 34”D
Ø 總高度： 54"-58"
Ø 標準19"電子元件安裝架
Ø 腳輪和水平調節器
l 電源
Ø 110-240 VAC/50 Hz, 20 A，單相
二、PEBS-20脈沖電子源系統的技術指標
組成：
l PEBS-20脈沖電子源
l 電源
l 電子控制系統
l 預裝軟件的控制計算機
技術指標：
電壓：115-230 VAC, 50/60 Hz, 單相
氧氣壓力：5-20 mTorr
電子能量：8-20 kV
單次脈沖能量：0.1 – 0.8 J
脈沖能量偏差（Max）：±10%
能量轉換效率：25-30%
脈沖持續時間：~100 ns
脈沖重復速率（Max）：15 Hz
電子束斑面積（Min）：6 x 10-2 cm2
電子束斑面積偏差（Max）：±20%
脈沖能量密度（Max）：1.3 x 108 W/ cm2
Z軸移動距離：50 mm
XY軸移動距離：±20 mm
工作壽命：107 次脈沖
PEBS源的工作溫度（Max）：85 °C
特點
脈沖電子束沉積（PED）的特點
與CW技術相比，例如傳統的電子束蒸發，脈沖系統的主要特點是可以在靶材表面上
產生達108W/cm2的高能量密度。因此，靶材的熱動力學特性比如熔點和比熱等
在蒸發過程中就變得不重要了。這一點對復雜的、多組分材料特別具有優勢。與脈
沖激光沉積（PLD）相比，脈沖電子束沉積（PED）技術提供了的平臺，在
一系列具有重要技術價值的基片上沉積復雜材料的薄膜，其*的優點在于擴展了
材料的范圍和應用。這種方法在大批量生產中可以大規模應用且成本低廉。
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