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EVG GEMINI晶圓鍵合系統

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更新時間:2024-04-27 07:28:45瀏覽次數:176次

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EVG GEMINI是一款全自動多腔室晶圓鍵合工藝平臺,實現了高程度的集成度和自動化,適用于大型量產。

產品簡介:

EVG GEMINI是一款全自動多腔室晶圓鍵合工藝平臺,實現了高程度的集成度和自動化,適用于大型量產。

 

主要特點及參數:

·支持12英寸(300mm)晶圓

·最多兼容4個鍵合腔室和6個預處理腔室

·兼容底部對準、紅外對準以及SmartView對準

·可選配模塊:

低溫等離子體活化

晶圓清洗

涂膠模塊

UV固化模塊

烘烤/冷卻模塊

對準驗證模塊

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