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廣東金徠科技有限公司
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應用范圍：? · 去除光刻膠 · 晶圓打膠 · 濕法刻蝕前的晶圓清潔 · 去除 SU-8 · 清潔和表面活化 · 化學微量分析中的低溫材料灰化 · 過濾器和濾膜的清潔 · 環氧樹脂去除
等離子去膠機是深圳金徠針對小體積產品，小批量生產和實驗室晶圓處理設計，適用于晶圓級和3D封裝應用的理想設備。等離子應用包括預處理、灰化/光刻膠/聚合物剝離、有機污染去除等。
產品規格
型號 | JL-RR05 | JL-RR10 | JL-RR15 |
高頻輸出功率 | 500W | 500W | 1000W |
頻率 | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz |
檢測功能 | 氣壓檢測、 門檢測 | 氣壓檢測、 門檢測 | 氣壓檢測、 門檢測 |
真空泵 | 干式真空泵 | 干式真空泵 | 干式真空泵 |
氣體控制 | 高精度質量流量計(MFM) | 高精度質量流量計(MFM) | 高精度質量流量計(MFM) |
質量流量計精度 | +/-0.2% F.S | +/-0.2% F.S | +/-0.2% F.S |
冷卻方式 | 風冷 | 風冷 | 風冷 |
反應腔 | 石英 D160× 220 mm | 石英 D240× 260 mm | 石英 D240× 460 mm |
反應氣體 | 3 路系統（可選） | 3 路系統（可選） | 3 路系統（可選） |
氣體流量 | 0~300SCCM | 0~300SCCM | 0~500SCCM |
外形尺寸 | 438× 520× 760mm | 438× 520× 760mm | 650× 650× 650mm |
重量 | 約 60kg | 約 60kg | 約 70kg |
輸入電源 | 單相 220V， 50/60Hz 8A | 單相 220V， 50/60Hz 8A | 單相 220V， 50/60Hz 8A |
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