SRS斯坦福CLS順式離子源分析儀 SRS斯坦福CLS順式離子源分析儀如果有超過1 ppm的檢測限制，在mTorr壓力下直接取樣，以及一個用戶友好的Windows軟件包，CIS系統將滿足您苛刻的應用程序。在線過程監測和控制，在使用時對工藝氣體純度的驗證，高真空剩余氣體分析，以及工藝設備泄漏檢查，是這些系統*的部分。如果有超過1 ppm的檢測限制，在mTorr壓力下直接取樣，以及一個用戶友好的Windows軟件包，CIS系統將滿足您苛刻的應用程序。在線過程監測和控制，在使用時對工藝氣體純度進行驗證，高真空殘余氣體分析，以及工藝設備泄漏檢查，是這些系統*的部分。SRS斯坦福CLS順式離子源分析儀
緊湊的設計SRS斯坦福CLS順式離子源分析儀
該探測器由一個四極質譜儀組成，它帶有一個CIS離子發生器，安裝在2。75英寸的“con平坦”t恤內。控制單元直接安裝在探測器的費用上
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