SRS斯坦福UGAPM系列多達300個amu氣體分析儀 SRS斯坦福UGAPM系列多達300個amu氣體分析儀 UGAPM系列過程監測系統是為分析過程氣體而設計的現代質譜儀。他們的操作從20 Torr到1 mTorr。該進口連續以低流速（約5x10-5 mbar/秒）的氣體采樣，使該儀器成為在線分析的理想設備。UGAPM系列過程監測系統是為分析過程氣體而設計的現代質譜儀。他們的操作從20 Torr到1 mTorr。該進口連續以低流速（約5x10-5 mbar/秒）的氣體采樣，使該儀器成為在線分析的理想設備。UGAPM的應用包括cvd/pecd/rie/lpcvd，真空鍍膜/等離子腐蝕，蒸發，濺射沉積，真空熱處理，目標燃燒，泄漏檢測/虛擬泄漏/解吸，污染研究，小體積分析（0.1 mL范圍）等。這些分析儀也很容易操作和維護。所有的組件都可以從前端面板或遠程計算機控制。在UGAPM系統中，采用1/16或1/8 OD的SS毛細管來適應中間真空取樣。有了這個配置，進程腔和分析器之間幾乎沒有死容量
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