SRS斯坦福PPR系列過程監測系統 SRS斯坦福PPR系列過程監測系統PPR過程監控系統是為內聯過程監控和診斷而設計的。為殘余氣體分析儀（RGA）提供了兩條路徑：用于監測基本真空的高導電性路徑，以及在工作壓力下監測過程的減壓路徑。減壓路徑包含一個微型孔口，它被設計為在下列壓力之一下運行：0.01、0.1、1或10 Torr。它將樣本壓力降低到RGA的工作壓力（大約10-6 Torr）。這種壓力下降是由一個混合渦輪泵和一個隔膜泵組成的抽油系統來維持的。這兩個泵都是無油的，不會污染你的過程。連接到你的過程室的進口總成可以通過多種方式配置（見圖）。該系統包括一個RGA、旁路閥總成和Tee、一個控制器、渦輪泵、隔膜泵和用于數據采集和控制的Windows軟件程序。該軟件用于各種模式的操作，包括模擬掃描、直方圖模式、壓力與時間模式。法拉第杯和電子倍增探測器都是PPR系統的標準。電子倍增器提供額外的靈敏度和更高的掃描速度。PPR系統被*組裝和校準，并準備好連接到你的真空處理室。
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