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6等離子清洗機--PDC-001

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產品型號PDC-001

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更新時間：2022-05-04 09:25:11瀏覽次數：343次

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產品簡介

PDC-001是一款腔體尺寸較大的等離子清洗機，其等離子腔體尺寸為 6“dia x 6.5“。特別適合對有機物和基片表面進行清洗，同時可以向腔體通入不同的氣體（如氧氣和惰性氣體等），從而產生不同氣氛的等離子體以滿足實驗需要。在高射頻工作狀態下起表面臟物移出速率高達20nm/min.對于在薄膜生長前對基片進行預處理，此款設備極為理想。

詳細介紹

PDC-001是一款腔體尺寸較大的等離子清洗機，其等離子腔體尺寸為 6"dia x 6.5"。特別適合對有機物和基片表面進行清洗，同時可以向腔體通入不同的氣體（如氧氣和惰性氣體等），從而產生不同氣氛的等離子體以滿足實驗需要。在高射頻工作狀態下起表面臟物移出速率高達20nm/min.對于在薄膜生長前對基片進行預處理，此款設備極為理想。

技術參數

輸入功率	AC 110V , 50/60 Hz, < 200W
輸出頻率	13.56 MHz
功率	低檔716V DC 10 mA DC 7.2 W 中檔720V DC 15 mA DC 10.5W 高檔740V DC 40 mA DC 30 W
等離子腔體	尺寸：6" dia x 6.5" l 石英腔體
真空泵和閥	儀器中包括有一雙極旋片泵，2XZ-2，抽氣速率為2L/s, 泵上安裝有一個不銹鋼針閥，其接口為寶塔嘴接頭
通入的氣體	腔體中可以通入多種氣體，如N2, Ar, Air ，也可以通入多種混合氣體，以滿足實驗需要，不可以通入可燃性氣體進入等離子腔體中
可選配件	如果基片的直徑為2"和4"，可以選購石英架，每個石英架上可以放25片數字式真空顯示計，可以精確顯示石英腔體內的真空度
可選真空計	可選本公司生產研發的電阻真空計此款真空計是以Pirani電阻規在不同真空環境下體現的熱傳導特性為原理而研發的一款低真空測量儀器，特別適應于從常壓到0.1Pa非腐蝕性氣體環境的真空度測量。
外型尺寸	11" H x 18" W x 9" D
細節圖

質保期	一年質保 ( 不包括石英腔體和密封圈)
質量認證	CE Certified