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深圳市東信高科自動化設備有限公司
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產品介紹可用于大規模連續生產
可用于大規模連續生產；
的電極結構，確保等離子體的均勻性；
適合各種形狀產品；
自主研發集成控制系統軟件，操作便捷；
多功能安全保護，安全性高；
可按照需求進行定制；
清洗：有效去除納米級有機污染物，增強與其他表面的附著力
活化：改變表面潤濕性，使表面親水或疏水
改性：在產品表面引入功能組，羥基、羧基
滅菌：去除微生物污染物
聚合：沉積具有功能端基的聚合物，在等離子體活化表面接枝聚合物
| 型號 | 容量 | 功率 | 腔體尺寸 | 處理層數 | 外形尺寸 |
| TS-PL60MA | 60 | 0-500W（可調） | 400*450*400（mm） | 11 | 1000*1030*1630（mm） |
| TS-PL100MA | 100 | 0-500W（可調） | 500*450*500（mm） | 15 | 1100*1030*1680（mm） |
| TS-PL150MA | 150 | 0-1000W（可調） | 500*500*600（mm） | 17 | 1200*1100*1730（mm) |
| TS-PL200MA | 200 | 0-1000W（可調） | 500*580*700（mm) | 21 | 1250*1230*1790（mm） |
| 電源頻率 | 13.56MHz/40KHz（選配） |
| 真空泵 | 油泵/干泵+羅茨組合 |
| 腔體材質 | 進口316不銹鋼/鋁合金（選配） |
| 氣體流量 | 0-500ccm |
| 氣體管道 | 2路（可增加） |
| 控制方式 | PLC+觸摸屏 |
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