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上海添時科學儀器有限公司
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OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三溫區1500℃的PECVD管式爐系統，該設備由射頻電源、1500℃三溫區管式爐、多通道質子混氣系統和真空系統組成。此款PECVD系統可廣泛應用于生長納米線、石墨烯及薄膜材料領域。
產品特點：
•帶有石英觀察窗口的不銹鋼真空密封法蘭，便于觀察等離子發光（圖1）；
•射頻電源可實現等離子增強，從而顯著降低實驗溫度；
•四通道質子流量計控制系統可以對氣體的輸送進行精確的調控;
•此款設備可安裝控制模塊，將溫度設置和溫度曲線導入到電腦（圖2、3）；
•此款設備可選配控溫精度為±0.1℃的歐陸儀表（圖4）。
基本參數：
•工作溫度1500℃（<30min）；連續使用溫度1400℃；
•三個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統，控溫精度：±1℃，帶有超溫和斷偶保護；
•·輸入電源： 208-240V，AC，單相；功率：6.6 KW；
•內爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設備加熱效率及反射率，同時延長儀器的使用壽命。
•注意：此設備不標配爐管。購買前請與我們銷售確定爐管相關事宜。
射頻電源：
真空系統：
•·采用TRP-12的雙旋真空泵；
• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；
•真空度可達10-2Torr。
供氣系統（可選）：
•客戶可選購四通道質子流量計控制系統實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）;
•流量范圍：
•電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；
•氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;
•不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；
• PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。
產品尺寸和重量：
•爐體尺寸： 550mm L'380mm W'520mm H
•爐體下端移動柜：1800mm L'600mm W'600mm H
•凈重：100 kg
•運輸重量：550 kg
承諾：
一年保質期，終身維護，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件
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