型號：OTF-1200X-80-II-F3LV
產品概述：OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通過CE認證的雙溫區管式爐CVD系統，其管徑為80mm，采用雙旋片機械泵，供氣系統為三路浮子供氣系統，可以混合1-3種氣體，其真空度可達到 10-2 torr.
| 殼體結構 | · 雙層殼體結構，并帶有分冷 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽 |
| 功率 | 2.5 KW |
| 電壓 | AC 208-240V單相, 50/60 Hz |
| 加熱元件 | Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo |
| 工作溫度 | 1200 ℃ |
| 連續工作溫度 | 1100 ℃ |
| 升溫速率 | ≤20 ℃ /min |
| 爐管尺寸和材質 | 石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm |
| 加熱區長度 | · 兩個加熱區: 每個溫區200 mm (8") 總加熱區長度400 mm |
| 溫度控制器 | · 兩個精密的溫度控制器，單獨的控制兩個溫區 · PID方式控制,通過PWM固體繼電器 · 30 可編程智能溫度調節儀，可設置30段升降溫程序 · 帶有過熱和斷偶保護 控溫儀表操作視頻 |
| 控溫精度 | +/- 1 ℃ |
| 真空密封系統 | · 兩個不銹鋼密封法蘭，法蘭上有KF-25接口和法蘭上已經安裝機械壓力表（圖片中的藍表為選配)閥門 · 真空度：通過機械泵真空度可以達到5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr)，如想獲得更高的真空度可以采用分子泵，真空度可以達到10-5 torr. ·泄漏率< 5 m-torr/min(點擊圖片查看詳細資料）
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| 真空泵 | 采用雙旋機械泵，機械泵上安裝有油污過濾器，可以過濾真空泵工作時產生的油煙，減少泵油的損耗，保護環境和人體健康，過濾的最小微粒直徑為0.3微米。 |
| 防腐型真空計 | 可選：本公司進口的防腐型數字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。
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| 混氣系統 | · 3個浮子流量計安裝在一個移動架上，可以推動，可同時混入三種不同氣體。 · 路氣體流量范圍為10-100 cc/min. · 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min. · 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min. 一個壓力表安裝在移動加上，壓力表直接于移動架內的混氣箱相連接 ，來監測混合氣體的壓力 |
| 閥門 | 四個不銹鋼閥門安裝移動架的側面板上分別在三個氣體的入口處 |
| 尺寸 | · 爐子: 550 x 380 x 520 移動架: 600x600x597 |
| 開門斷電 | 為保證使用安全，該電爐為開門斷電設計
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| 凈重 | 約60KG |
| 運輸重量 | 600 lbs |
| 質保期 | 一年質保期，相關耗材除外，如爐管，密封圈等易耗件 |
| 質量認證 | · CE認證 · 所有電器元件（>24V）都通過UL / MET / CSA認證 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證
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| 使用注意事項 | · ·爐管內氣壓不可高于0.02MPa · ·由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 · ·當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態 · ·進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 · ·石英管的長時間使用溫度＜1100℃ ·對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
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