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產品簡介
質量流量控制器（MFC）用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
產品介紹
D07-7K氣體質量流量控制器,D07系列模擬質量流量控制器
D07-7K氣體質量流量控制器,D07系列模擬質量流量控制器簡介：
質量流量控制器(MFC)用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
,D07系列模擬質量流量控制器技術參數：
| 產品型號 | D07-7K |
|---|---|
| 產品類型 | 普通型 |
| 流量量程 | 20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm |
| 產品精度 | ±1％F.S. |
| 重復精度 | ±0.2% FS |
| 線性 | ±1％F.S. |
| 響應時間 | ≤4sec |
| 工作溫度范圍 | (5~45)°C |
| 耐壓 | 3MPa |
| 密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene |
| 輸入輸出信號 | (0~5)VDC |
| 電源 | ±15V |
| 閥類型 | 常閉 |
| 溫度系數 | - 無 - |
| 零點飄移指標 | - 無 - |
| 電氣連接 | D sub 15 pins Female |
| 工作壓差范圍 | (0.1～0.5) MPa |
| 漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He） |
| 標準接頭形式 | 雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4(內)×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內)×1軟管接頭 |
| 表面化學成分 | - 無 - |
| 表面粗糙度 | - 無 - |
| 抗電磁干擾 | - 無 - |
| 重量 | 1.1Kg |
