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產品介紹
S48 300/HMT聯動控制高精度數字式氣體質量流量控制器
1.數字式氣體質量流量控制器
2.高精度
3.zui多可實現16臺聯動控制
S48 300/HMT聯動控制高精度數字式氣體質量流量控制器特點：
- 高精度
- 良好的線性
- 快速的響應
- 對零點漂移有效的抑制
- 電磁閥使用壽命≥100萬次
- 化的零配件供應——傳感器、分流器、精密電阻等關鍵部件日本進口
- 通訊接口優勢
- 多臺控制器可以同時運行
技術參數：
| 編號 | 項目 | S48 300/HMT |
| 1 | 流量規格 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min； （1,2,3,,5,10，20,30,50）L/min |
| 2 | 調節閥類型 | 電磁調節閥 |
| 3 | 調節閥靜止狀態 | 常閉 |
| 4 | 安裝角度 | 任意 |
| 5 | 流量控制范圍 | 2%～99% |
| 6 | 準確度 | ±1.0% S.P.(≥30% F.S.) ±0.30% F.S.(<30% F.S.) |
| 7 | 線性 | ±0.5% F.S. |
| 8 | 重復精度 | ±0.2% F.S. |
| 9 | 響應時間 | ≤1s |
| 10 | 工作壓差范圍 | （0.05～0.3）MPa(<10L/min): （0.1～0.3）MPa(10～50)L/min； (0.15～0.3)MPa 50L/min |
| 11 | 耐壓 | ±3MPa |
| 12 | 工作環境溫度 | 55℃～50℃ |
| 13 | 精度保證溫度 | 15℃～35℃ |
| 14 | 接觸氣體材料 | 316L,PTFE,Viton或其他 |
| 15 | 漏率 | <1×10-8 Pa•m3/s |
| 16 | 接頭 | Swagelok:Φ6mm,1/4″ VCR:1/4″或其他 |
| 17 | 輸入信號 | 數字：RS232/RS485 模擬：（0～+5.00）V，輸入阻抗>100KΩ VCR:1/4″3/8″ |
| 18 | 輸出信號 | 數字：RS232/RS485 模擬：（0～+5.00）V，負載能力≤3mA |
| 19 | 通訊接口 | 數字：RS232/RS485 波特率：4800/9600/19200Bps 協議叢機 設備號可選范圍：0～15 |
| 20 | 供電電源 | ±15V（±5%） （+15V，150mA；-15V,200mA) |
| 21 | 重量 | 0.9 |
