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產品介紹
S48 28/HMT流量范圍100L-200L/min模擬式質量流量控制器
1.模擬式氣體質量流量控制器
2.流量范圍:100L-200L/min
S48 28/HMT流量范圍100L-200L/min模擬式質量流量控制器特點:
- 可以任意角度安裝
- 良好的線性——多段線性補償
- 快速的響應
- 電磁閥使用壽命≥100萬次
- 對零點漂移有效的抑制
- 化的零配件供應 ——傳感器、分流器、精密元器件日本進口
- 良好的選擇性
技術參數:
編號 | 項目 | S48 28/HMT | |
1 | 流量規格 | (100,150,200)L/min | |
2 | 調節閥類型 | 電磁調節閥 | |
3 | 調節閥靜止狀態 | 常閉 | |
4 | 安裝角度 | 任意 | |
5 | 流量控制范圍 | 5%~99% | |
6 | 流量測量范圍 | 0~99% | |
7 | 響應時間 | 2s(T98,設定值的±2% F.S.) | |
8 | 工作環境溫度 | 5℃~50℃ | |
9 | 精度保證溫度 | 15℃~35℃ | |
10 | 精度 | ±1.0%F.S. | |
11 | 線性精度 | ±0.5%F.S. | |
12 | 重復性 | ±0.2%F.S. | |
13 | 工作壓差 | (100/150/200)L/min:(100/150/200)~300kPa | |
14 | 耐壓 | 3MPa | |
15 | 泄漏率 | 1×10-8 Pa•m3/s (He) | |
16 | 接觸氣體材料 | 316L,PTFE,Viton氟橡膠 | |
17 | 管路接頭 | Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″ VCR:1/4″3/8″ | |
18 | 供電電源 | ±15VDC(±5%) +15V,<100mA;-15V,<200mA | +24VDC(寬電壓+11~+25V), <350mA(+24VDC供電時) |
19 | 設定信號 | (0~5)VDC 輸入阻抗>1MΩ | 4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V) |
20 | 流量輸出信號 | (0~5)VDC 負載能力≤3mA | |
21 | 電氣接頭 | D-SUB15,D-SUB9 | |
22 | 重量(kg) | 2.8 |