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產品簡介
氣體質量流量計適用于對氣體質量進行精密測量。它將測量的氣體質量流量轉換為相應的標準狀態下的氣體體積流量或標準狀態下的氣體質量流量。
氣體質量流量計具有低功耗、精度高、壽命長、重復性好、流量量程寬、穩定可靠等特點。用測試氣體質量的方法對氣體進行流量測量，目前在國內處于*地位。
產品介紹
D07-19BM氣體質量流量計,氮氣硫化氫氣體質量流量控制器
簡介：
氣體質量流量計適用于對氣體質量進行精密測量。它將測量的氣體質量流量轉換為相應的標準狀態下的氣體體積流量或標準狀態下的氣體質量流量。
氣體質量流量計具有低功耗、精度高、壽命長、重復性好、流量量程寬、穩定可靠等特點。用測試氣體質量的方法對氣體進行流量測量，目前在國內處于地位。
D07-19BM氣體質量流量計,氮氣硫化氫氣體質量流量控制器主要特點：
★高精度，快響應型
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★采用DB15型電插頭，標準機械接頭
★兼容
用 途:
質量流量控制器(MFC)用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
標 準:
氣體質量流量用氮氣(N2)標定。標準狀態規定為：
標準溫度………………0℃(273.15K)
標準壓強………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA;-15V,200mA
輸入設定電壓…………0～+5.00V
輸出電壓檢測…………0～+5.00V
,氮氣硫化氫氣體質量流量控制器技術參數：
滿量程流量范圍(N2) | 5SCCM～30SLM | |
控制范圍 | 2～100％F.S. | |
閥類型(及閥初始狀態) | 電磁調節閥(常閉) | |
準確度 | ≤10SLM | ±1％F.S. |
＞10SLM | ±2％F.S. | |
線性 | ≤10SLM | ±0.5～1％F.S. |
＞10SLM | ±2％F.S. | |
重復精度 | ±0.2％F.S. | |
響應時間 | ≤4sec | |
工作溫度范圍 | 5～45℃ | |
工作壓差 | ≤10SLM | 0.1～0.5MPa |
＞10SLM | 0.1～0.3MPa | |
耐壓 | 3MPa | |
漏氣率 | 1×10-9SCCSHe | |
密封材料 | 氟橡膠、聚四氟乙烯、氯丁橡膠 | |
接頭選擇 | VCR | 1/4”或φ4hose、φ6hose |
Swagelok | 1/8”、1/4”或φ3、φ6mm | |
電插頭形式 | DB15 pin(Male) | |
抗電磁干擾 | CE | |
重量 | 0.95Kg | |
