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OPTM 系列顯微分光膜厚儀

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北京卓立漢光儀器有限公司
2022-10-11 14:29:21
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【簡(jiǎn)單介紹】

OPTM 系列顯微分光膜厚儀使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過(guò)反射率進(jìn)行測(cè)量，可進(jìn)行高精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析。可通過(guò)非破壞性和非接觸方式測(cè)量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。測(cè)量時(shí)間上，能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測(cè)量，并且搭載了即使是初次使用的用戶，也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件。

【詳細(xì)說(shuō)明】

產(chǎn)品概述

OPTM 系列顯微分光膜厚儀
頭部集成了薄膜厚度測(cè)量所需功能

通過(guò)顯微光譜法測(cè)量高精度反射率（多層膜厚度，光學(xué)常數(shù)）

1點(diǎn)1秒高速測(cè)量

顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)（紫外至近紅外）

區(qū)域傳感器的安全機(jī)制

易于分析向?qū)В鯇W(xué)者也能夠進(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析

獨(dú)立測(cè)量頭對(duì)應(yīng)各種inline客制化需求

支持各種自定義

OPTM 系列顯微分光膜厚儀選型表

OPTM-A1	OPTM-A2	OPTM-A3
波長(zhǎng)范圍	230 ~ 800 nm	360 ~ 1100 nm	900 ~ 1600 nm
膜厚范圍	1nm ~ 35μm	7nm ~ 49μm	16nm ~ 92μm
測(cè)定時(shí)間	1秒 / 1點(diǎn)
光斑大小	10μm (*小約5μm)
感光元件	CCD		InGaAs
光源規(guī)格	氘燈+鹵素?zé)?		鹵素?zé)?/td>
電源規(guī)格	AC100V±10V 750VA（自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格）
尺寸	555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格之主體部分)
重量	約 55kg（自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格之主體部分）

測(cè)量項(xiàng)目：

反射率測(cè)量

多層膜解析

光學(xué)常數(shù)分析（n：折射率，k：消光系數(shù)）

測(cè)量示例：SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚測(cè)量

半導(dǎo)體晶體管通過(guò)控制電流的導(dǎo)通狀態(tài)來(lái)發(fā)送信號(hào)，但是為了防止電流泄漏和另一個(gè)晶體管的電流流過(guò)任意路徑，有必要隔離晶體管，埋入絕緣膜。 SiO 2（二氧化硅）或SiN（氮化硅）可用于絕緣膜。 SiO 2用作絕緣膜，而SiN用作具有比SiO 2更高的介電常數(shù)的絕緣膜，或是作為通過(guò)CMP去除SiO 2的不必要的阻擋層。之后SiN也被去除。為了絕緣膜的性能和精確的工藝控制，有必要測(cè)量這些膜厚度。


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