無塵烘箱，100級潔凈烘箱用途:

  無塵烘箱，100級潔凈烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

特點：

1.在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100；

2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；

3.采平面水平由后向前送風熱風循環系統，風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱，省電節能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；

4.強制送風循環方式。雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到*溫度控制精度。

技術參數：

1、主要技術指標：

 無塵等級：Class 100;     

 溫度范圍：RT+10～200℃；

 溫度均勻度：±2℃;    

 溫度波動度：±0.5℃（空載）        

 溫控精度：±0.1℃;        

 工作室尺寸：W600×D600×H500（mm） 可自定內部尺寸        

 電源：380v , 50Hz，5KW    

 網板：2塊（高度可調節)

 潔凈度100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風水平層對流循環方式實現并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。zui小限度控制風速距離。

M計裝可編程控制1模式20步驟，zui多可做10個模式。溫度上升·下降斜率設定程序的重復次數在1-999次間設定。

簡單操作的標準計裝

標準配置定值運行模式以及自動啟動·自動停止等可設定動作的程序運行。標準配置溫度過升防止器。 

2、箱體結構：

外殼材料:外箱采用SUS304不銹鋼或 SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵

內膽材料:優質潔凈T1.5mmSUS304#鏡面不銹鋼或國標鏡面不銹鋼材質，并經堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤產生 PARTICLE；

活動層板:配置2層承重型不銹鋼沖孔拖盤，可根據實際需要增加

保溫風道：厚度100毫米硅酸鋁保溫棉或高密度耐高溫玻璃纖維，保溫隔熱性能好

3、門式結構：

數 量：單開門

厚 度：100毫米硅酸鋁保溫棉（高溫棉），局部加強安裝鉸鏈和拉手

門 扣：迫緊式壓力把手，美觀，硅酸鋁纖維密封棉條，密封性好，壽命長

4、循環系統：

循環系統：強制水平送風循環，風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后熱風吸入風道成為源再度循環加熱，由此減小能量損耗并保證箱內的溫度均勻性，當門開、關動作 引起擾動時，可借此送風循環系統迅速回復操作狀態溫度值

進氣/排氣：

進氣系統：數量1個，φ30-60mm

排氣系統：數量1個，φ30-60mm

5、完善的安全保護措施：
     漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、 超溫防止保護裝置、 電熱過電流保護裝置、馬達過電流保護、 機臺異常蜂鳴器，逆向防止器、門面安全開關。