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  • 反應離子刻蝕機(RIE)

    詳細摘要: 反應離子腐蝕技術是一種各向異性很強、選擇性高的干法腐蝕技術。它是在真空系統中利用分子氣體等離子來進行刻蝕的,利用了離子誘導化學反應來實現各向異性刻蝕,即是利用離...

    產品型號:DISC-RIE-601/801/1201所在地:北京市更新時間:2024-04-09 在線留言

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