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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司


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桌面式高溫蒸鍍儀

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更新時(shí)間:2024-04-25 14:45:15瀏覽次數(shù):67次

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產(chǎn)品簡介

桌面式高溫蒸鍍儀,1800度高溫,觸摸屏控制,電動自動擋板保護(hù)樣品,工藝儲存操作簡單

詳細(xì)介紹

桌面式高溫蒸鍍儀

小型蒸鍍儀是一種在真空條件下加熱蒸發(fā)容器中待蒸發(fā)材料的方法,以使原子或分子蒸發(fā)并從表面逸出以形成蒸氣流,進(jìn)入基材或基材表面,然后凝結(jié)成固體膜。

  小型蒸鍍儀包括以下基本過程:
  (1)加熱蒸發(fā)過程:包括從冷凝相變?yōu)闅庀嗟倪^程,并且每種蒸發(fā)物質(zhì)在不同溫度下具有不同的飽和蒸氣壓。
  (2)氣態(tài)原子或分子在蒸發(fā)源和基質(zhì)之間的傳輸,即原子或分子在周圍大氣中的飛行過程。
  (3)蒸發(fā)的原子或分子在基板表面上的沉積過程。即,蒸發(fā),冷凝,成核,成核生長,形成連續(xù)的膜。由于基材的溫度遠(yuǎn)低于蒸發(fā)源的溫度,因此氣態(tài)分子將直接經(jīng)歷從基材表面上的氣態(tài)到固態(tài)的相變過程。


特點(diǎn)
● 全自動抽氣系統(tǒng)
● 旋轉(zhuǎn)樣品臺
● 菜單驅(qū)動式“用戶"鍵盤輸入
● 快速釋放頭方便選擇不同的頭
● 約束的排氣控制


以下是不同真空度 不同鍍膜時(shí)間鍍銅樣品圖

637858771737832260197.png   原樣品沒有鍍膜                       637858771732996198687.png  115A 100秒 機(jī)械泵

637858771732840196319.png115A 100秒 分子泵抽12分鐘    637858771732684194803.png  115A 120秒 分子泵抽20分鐘


真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色


桌面式高溫蒸鍍儀KT-Z1650CVD

控制方式

7寸人機(jī)界面 手動 自動模式切換控制

加熱方式

數(shù)字式功率調(diào)整器

鍍膜功能

0-9995段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

1200W

輸出電壓電流

電壓≤12V  電流≤120A

真空度

機(jī)械泵 ≤5Pa5分鐘)   分子泵≤10^-3Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

樣品臺

可旋轉(zhuǎn)φ62  (可安裝φ50基底)

樣品臺轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離

70-140mm

蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)

1800

支持蒸發(fā)坩堝類型

鎢絲藍(lán)  帶坩堝鎢絲藍(lán)  鎢舟  碳繩  

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口  KF16真空計(jì)接口  KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口

可選配擴(kuò)展

機(jī)械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa  

數(shù)顯真空計(jì)(測量范圍大氣壓到0.1Pa

分子泵機(jī)組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa





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