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>SLC-17系列直線位移臺<

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更新時間:2024-03-12 12:52:56瀏覽次數(shù):175次

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產(chǎn)品簡介

>SLC-17系列直線位移臺<

詳細介紹

>

SLC-17系列產(chǎn)品都是17 mm寬,8.5 mm高。它們剛性非常好,非常適合穩(wěn)定性和高精度為要務(wù)的微納位移系統(tǒng)。盡管它們的尺寸很小,用于微納位移任務(wù)的位置傳感器仍然可以集成到每個位移器中,而不影響位移器的外形尺寸。由于這種高集成度,SLC-1720-S是最小的的具有宏觀行程范圍的閉環(huán)納米位移器。

img1

參數(shù)

SLC-1720

SLC-1730

SLC-1740

SLC-1750

SLC-1760

SLC-1770

SLC-1780

行程

12mm

21mm

26mm

31mm

41mm

46mm

51mm

開環(huán)

分辨率

< 1 nm

速度

> 20 mm/s

垂直負載

20N

30N

體積

22x17 x8.5mm3

30x17x 8.5mm3

40x17 x8.5mm3

50x 17x8.5mm3

60x17 x8.5mm3

70x17 x8.5mm3

80x17 x8.5mm3

重量

13g

20g

26g

32g

38g

45g

51g

可選閉環(huán)傳感器S

傳感器

分辨率

1nm (MCS2)

重復

精度

±25nm

(MCS2)

±30nm

(MCS2)

± 40nm

(MCS2)

± 50nm

(MCS2)

±60nm

(MCS2)

± 70nm

(MCS2)

± 80nm

(MCS2)

可選閉環(huán)傳感器L

傳感器

分辨率

4nm (MCS2)

50 nm (HCU)

重復

精度

±50nm (MCS2)

± 1 µm

(H CU)

±60nm (MCS2)

± 1µm

(H CU)

± 80 nm (MCS2)

± 1 µm

(HCU)

±100nm (MCS2)

± 1 µm

(H CU)

±120nm (MCS2)

±1µm

(H CU)

±140nm (MCS2)

± 1 µm

(H CU)

±160nm (MCS2)

± 1 µm

(H CU)

關(guān)鍵詞:傳感器
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