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88式手臂傳片勻膠機

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更新時間：2023-11-15 12:05:15瀏覽次數(shù)：140次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹：1、控制系統(tǒng)由PLC觸摸屏構(gòu)成，故障率低，可靠性強，操作簡單，易于維護

詳細介紹

產(chǎn)品介紹：

1、控制系統(tǒng)由PLC觸摸屏構(gòu)成，故障率低，可靠性強，操作簡單，易于維護。

2、傳片方式通過手臂傳動。

3、主軸使用高速伺服電機，帶數(shù)字顯示，精確控制轉(zhuǎn)速。

4、自主設計開發(fā)薄膜式的噴膠泵，出膠穩(wěn)定，自帶回吸，保證了定量滴膠，可節(jié)省光刻膠用量。

5、設置靈活，多功能。通過一鍵設置，可將自動滴膠轉(zhuǎn)換為手動滴膠。

6、熱板控溫精確，自帶超溫保護系統(tǒng)，熱板均勻性好。熱板采用頂針升降，方便硅片烘烤。

轉(zhuǎn)速 6000RPM

轉(zhuǎn)速精準度 ≤1-4%RPM

勻膠滴膠手臂控制步進馬達

滴膠頭位置精準 ≤0.2mm

該設備為全自動上下料勻膠設備，主要應用于3-5寸方形晶圓涂膠、烘干，采用標準片盒收放片，自動運行。該設備為單軌道形式，上料、涂膠、烘干、取料。

關(guān)鍵詞：伺服電機

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