污水處理設備 污泥處理設備 水處理過濾器 軟化水設備/除鹽設備 純凈水設備 消毒設備|加藥設備 供水/儲水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設備
首昂光電(上海)有限公司
1)控制系統由PLC觸摸屏構成,故障率低,可靠性強,操作簡單,易于維護
1)控制系統由PLC觸摸屏構成,故障率低,可靠性強,操作簡單,易于維護。
2)傳片方式通過導軌絲桿傳動。
3)主軸使用高速直流無刷電機,帶數字顯示,精確控制轉速。
4)自主設計開發薄膜式的噴膠泵,出膠穩定,自帶回吸,保證了定量滴膠,可節省光刻膠用量。
5)效率高,雙軸運動方式,上料與下料單獨控制,采用雙加熱盤,降低等待時間。
6)設置靈活,多功能。通過一鍵設置,可將自動滴膠轉換為手動滴膠。
7)熱板控溫方式為可控硅,自帶超溫保護系統,熱板均勻性好。熱板采用頂針升降,方便硅片烘烤。
轉速 6000RPM
轉速精準度 ≤1-4%RPM
勻膠 滴膠手臂控制 步進馬達
滴膠頭位置精準 ≤0.2mm
該設備為全自動上下料勻膠設備,主要應用于3-5寸方形晶圓涂膠、烘干,采用標準片盒收放片,自動運行。該設備為單軌道形式,上料、涂膠、烘干、取料。
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