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Hiden SIMS Workstation二次離子質(zhì)譜儀

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更新時(shí)間：2023-09-21 09:19:27瀏覽次數(shù)：211次

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產(chǎn)品簡介

核心參數(shù)質(zhì)量分辨率0.5 amu質(zhì)量分析范圍1000 amu原始束流或速能量25KeV儀器種類四極桿

詳細(xì)介紹

核心參數(shù)

質(zhì)量分辨率0.5 amu
質(zhì)量分析范圍1000 amu
原始束流或速能量25KeV
儀器種類四極桿

產(chǎn)品介紹

儀器簡介：
1. 適合做多層薄膜的深度分析。
2. 很好的、耐用的、普通目的的二次離子質(zhì)譜儀。
3. 方便使用。
4. 樣品可以手動轉(zhuǎn)換，由于分析速度快所以每天可以分析一定數(shù)量的樣品。
5. 我們的系統(tǒng)可配置快速原子槍，使我們可以輕松處理絕緣的樣品。
6. 我們還可以做元素成像（就象化學(xué)地圖）和混合模式掃描，自動測量正、負(fù)和中性粒子。
7. 我們的系統(tǒng)是典型的超高真空工作臺，很容易滿足很多其它分析的使用。

結(jié)構(gòu)緊湊，但不損失性能。真正的高性價(jià)比。

技術(shù)參數(shù)：
質(zhì)量數(shù)范圍：300，510或1000amu
分辨率：5%的谷，兩個(gè)相連的等高峰。
檢測器：離子計(jì)數(shù)檢測器，正、負(fù)離子檢測
檢測限：1:10E7
質(zhì)量過濾器：三級過濾四極桿（9mm桿）
主離子槍： A，氧離子或其它氣體，能量到5KeV
B，Ga離子槍，能量25KeV（選配）
空間分辨率：A：100～150um
B: 50nm
取樣深度：2個(gè)單分子層（靜態(tài)）
不受限制（動態(tài)）

主要特點(diǎn)：
? 高靈敏度脈沖離子計(jì)數(shù)檢測器，7個(gè)數(shù)量級的動態(tài)范圍
? SIMS 成像，分辨率在微米以下
? 光柵控制，增強(qiáng)深度分析能力
? 所有能量范圍內(nèi)，離子行程的最小擾動，及恒定離子傳輸
? 差式泵3級過濾四極桿，質(zhì)量數(shù)范圍至1000amu
? 靈敏度高 / 穩(wěn)定的脈沖離子計(jì)數(shù)檢測器
? Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過壓保護(hù)
? 通過RS232、RS485或Ethernet LAN，軟件 MASsoft控制