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蘇州汶顥微流控技術股份有限公司
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KW-4A臺式勻膠機適應于直徑5-100mm硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝勻膠機，制版的表面涂覆，轉速500-8000轉。
產品名稱：
中科院微電子所KW-4A勻膠機
一、KW-4A勻膠機產品介紹：
1、中科院微電子所KW型勻膠機適應于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。
2、該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點，并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。
3、通常配無油真空泵一起使用。經過20多年的發展，目前產品占國內市場的70%以上。
4、目前的型號有KW-4A型和KW-5型。
二、KW-4A勻膠機規格參數：
1、調速范圍和勻膠時間
Ⅰ檔 調速范圍：500-2000轉／分 Ⅰ檔 勻膠時間：2-18秒
Ⅱ檔 調速范圍：1300-8000轉／分 Ⅱ檔 勻膠時間：3-60秒
2、適用：Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等勻膠（硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等各種材料）。
3、LED數字顯示，轉速穩定度：±1％，膠的均勻性：±3％?！?/span>
4、電機功率：40W
5、真空泵抽氣速率≥60升／分
6、體積小，重量輕，操作簡便
7、儀器尺寸：210×220×160mm
8、標配 3 個基片托盤：直徑 8mm，1 英寸，2 英寸，（4英寸可選配。）
9、可選配件無油泵
無油真空泵基本參數：
1) 型號： AP-550v；
2) 抽速：1.5 升/秒；
3) 功率：320W；
4) 噪音：58db；
5) 電壓、頻率：~ 220V/50Hz；
6) 真空度：﹣700mmHg；
7) 重量：5.8kg；
8) 外形尺寸：240×130×200mm。
三、KW-4A 勻膠機產品主要特點
1) 開關電流調速，穩定性能更好，轉速調節以數字顯示為準。
2) 轉速在 500～8000 轉/分范圍內非常穩定。
3) 采用雙轉速。在啟動之后，先以低速運轉，使膠攤開，然后自動轉換到 高速運轉。兩種轉速及相應的時間分別可調，時間分別控制在 1～18 秒 和 3 秒～1 分鐘。
4) 具有定時功能。
5) 測速采用光電的辦法，產生光電脈沖，由晶體分頻測速準確性高。
6) "吸片"采用電磁閥控制氣路，一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機工作，適合 流水線的工藝，提高了效率。
7) 在安裝結構上，采取了減振措施，保證了在運轉時噪音低。
四、KW-4A型勻膠機使用說明
1) 將塑料管接到勻膠機后面板的抽氣嘴上。
2) 電源線插座插入無油泵底座“~220V"插孔里。
3) 電源線插頭插入電源線接板的~220V。
4) 此泵有兩個氣嘴，一個氣嘴已接好塑料管，另一端接到勻膠機后面板即
可，另一只氣嘴為出氣嘴，不要堵住。
5) 電源開關“O"為關閉，“－"為開啟。
6) 將開關置于“－"位置，真空泵即可運轉。
7) 和勻膠機連用時，當需要吸片時，先開泵電源，真空泵應處于工作狀態，
只需要再按勻膠機面板上的吸氣鍵，即可控制通電。
8) 不工作時將泵上的開關斷開。
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