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三河建華高科有限責任公司
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該設備主要用于LED、MEMS、IC等行業標準晶圓勻膠、預烘工藝
該設備主要用于LED、MEMS、IC等行業標準晶圓勻膠、預烘工藝。
主要技術特點
采用星型布局形式，結構緊湊，效率高。
上/下片工位
鋁制標準晶圓片盒，不變形、易轉片。
雙臂機械手
選用進口多關節雙臂機械手，不僅具有較高的剛度、靈活性，而且傳輸速度快，定位精度高。
勻膠單元
勻膠腔采用進口PP材料制成，主軸電機采用進口定制的中空軸交流無刷伺服電機，保證旋轉轉速、加速度控制精度高，重復性、穩定性好。
冷/熱板單元
冷板/熱板單元是對晶圓進行預烘及冷卻處理，晶圓與盤體為非直接接觸方式，溫度穩定、精度高。
主要技術指標
晶圓尺寸：3″、4″
機械手：1套
勻膠單元：3套
主軸轉速：0～6000rpm，最小調整量：1rpm
轉速精度：±1rpm(50～5000rpm)
主軸加速度：100～20000rpm/sec
膠液數量：2路
背洗功能：可選
去邊功能：可選
光刻膠供給：精密膠泵
光刻膠供給量：1～10ml
光刻膠供給精度：±0.1ml
光刻膠粘度：≤1000Cp
光刻膠過濾：可選
熱板數量：6套
溫度范圍：室溫～180℃
最小調整量：0.1℃
加熱方式：云母加熱片加熱
溫度均勻性：±1℃@50℃～120℃、±2℃@120.1℃～180℃
冷板數量：2套
冷卻方式：廠務冷卻水循環冷卻
水溫范圍：18℃～30℃
外形尺寸：L1750mm×W1600mm×H1900mm
重量：1600Kg
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