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三河建華高科有限責任公司
該設備為手動上下片,自動滴膠設備,可完成勻膠后烘焙工藝
該設備為手動上下片,自動滴膠設備,可完成勻膠后烘焙工藝。適用5″標準晶圓,主要應用于分立器件、功率器件等行業。
主要技術特點
勻膠單元
采用不銹鋼勻膠腔體,中空軸伺服電機,具有密閉腔蓋,保證勻膠過程中不產生膠絲。
熱板單元
升溫快、烘焙效果好,具有條形凸起,方便人工取放。
膠泵單元
光刻膠采用精密膠泵供給,精度高,供液穩定可靠。
主要技術指標
晶圓尺寸:5″
膠腔數量:3個
膠腔材質:不銹鋼
主軸轉速:0~5000rpm,:5000rpm
轉速精度:±2rpm (50~5000rpm)
光刻膠供給量(Teflon吐出泵):1~10ml
光刻膠供給精度:±0.1ml
光刻膠粘度:≤500Cp
熱板數量:1個
溫度范圍:50~150℃
外形尺寸:L1500mm×W1000mm×H1800mm
重量:400Kg
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