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DYX-430Y自動勻膠機

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更新時間:2023-06-11 17:35:46瀏覽次數:254次

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產品簡介

該設備為手動上下片,自動滴膠設備,可完成勻膠后烘焙工藝

詳細介紹

該設備為手動上下片,自動滴膠設備,可完成勻膠后烘焙工藝。適用5″標準晶圓,主要應用于分立器件、功率器件等行業。

主要技術特點

勻膠單元

采用不銹鋼勻膠腔體,中空軸伺服電機,具有密閉腔蓋,保證勻膠過程中不產生膠絲。

熱板單元

升溫快、烘焙效果好,具有條形凸起,方便人工取放。

膠泵單元

光刻膠采用精密膠泵供給,精度高,供液穩定可靠。

主要技術指標

晶圓尺寸:5″

膠腔數量:3個

膠腔材質:不銹鋼

主軸轉速:0~5000rpm,:5000rpm

轉速精度:±2rpm (50~5000rpm)

光刻膠供給量(Teflon吐出泵):1~10ml

光刻膠供給精度:±0.1ml

光刻膠粘度:≤500Cp

熱板數量:1個

溫度范圍:50~150℃

外形尺寸:L1500mm×W1000mm×H1800mm

重量:400Kg

關鍵詞:伺服電機
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