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美能探針式臺階儀SP200

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更新時間：2023-05-19 15:17:04瀏覽次數(shù)：238次

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蘇州上器試驗設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

表面微觀特征是材料、化學(xué)、精密制造等領(lǐng)域的主要研究內(nèi)容，準(zhǔn)確地評價表面微觀形貌、表面特征等，對于相關(guān)材料的評定、性能的分析和加工工藝的改善都具有重要意義。在半導(dǎo)體、光伏、LED、MEMS器件、材料等領(lǐng)域，表面臺階高度、膜厚的準(zhǔn)確測量具有十分重要的價值，尤其是臺階高度是一個重要的參數(shù)，對各種薄膜臺階參數(shù)的精確、快速測定和控制，是保證材料質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率的重要手段。

詳細(xì)介紹

出色的重復(fù)性和再現(xiàn)性

(1)單拱龍門式設(shè)計，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性優(yōu)異，大大降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響，提高了測量精度。；
(2)線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13um 量程下可達(dá)0.01 埃。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。;

超微力恒力傳感器：1-50mg可調(diào)

的傳感器設(shè)計使得在單一平臺上即可實現(xiàn)超微力和正常力測量。測力恒定可調(diào)，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制，實現(xiàn)無接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測量。

超平掃描平臺

系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌，杜絕運動中的細(xì)微抖動，提高掃描精度，真實反映工件微小形貌。

全自動XY載物臺，Z軸自動升降、360°全自動θ轉(zhuǎn)臺

精密的XY平臺結(jié)合360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)電動旋轉(zhuǎn)臺，可以對樣品的位置以及角度進(jìn)行調(diào)節(jié)，三維位置均可以調(diào)節(jié)，利于樣品調(diào)整，提高測量效率。

項目	內(nèi)容
技術(shù)測量	探針式表面輪廓測量技術(shù)
樣品觀測	光學(xué)導(dǎo)航攝像頭：500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī)，F(xiàn)oV，1700*1400μm
探針傳感器	超低慣量，LVDC傳感器
測量力	1-50mg可調(diào)
探針選型	探針曲率半徑2μm，夾角60°
Z軸測量重復(fù)性	＜0.5% 在環(huán)境溫度20 ±2 °C下用50X物鏡測量4.7um標(biāo)準(zhǔn)臺階樣塊
平臺移動范圍X/Y	電動X/Y（100mm*100mm）（可手動校平）
樣品R-θ載物臺	電動，360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)
單次掃描長度	55mm
樣品厚度	50mm
載物臺晶圓尺寸	150mm（6時），200mm（8時）
臺階高度重復(fù)性	＜1nm（測量1μm臺階高度，1δ）
傳感器量程	330μm
垂直分辨力	分辨力＜0.25 ?（量程為13um時）
掃描速度	2μm/s-10mm/s
儀器電源	100-240 VAC，50/60 Hz
使用環(huán)境	相對濕度：濕度（無凝結(jié)）30-40% RH 溫度：16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃) 地面振動：6.35μm/s（1-100Hz）音頻噪音：≤80dB 空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動）
尺寸和重量	長×寬×高: 640626534(mm) 儀器總重量：<50kg