【產品簡介】
布魯克公司的新型 Dektak XTL ™探針式輪廓儀系統可容納多達 350 毫米 x350 毫米的樣品，將優異的重復性應用到大尺寸晶片及面板制造業。Dektak XTL 集成氣體隔震裝置和方便的交互鎖裝置使儀器在全封閉工作環境下運行，可應對復雜的生產環境。它的雙攝像頭設置和高水平自動化功能可限度提高生產量。布魯克公司*的具有圖形識別功能的 Vision64® 軟件以及自動化生產接口，可滿足 IC 級用戶需求，使數據采集成為一個自動化的過程，限度地降低操作員的變化帶來的影響。
【主要應用】
1、 主要用于膜厚、應力、表面粗糙度和表面形貌的測量，實現納米尺度的表面輪廓測量；
2、 廣泛應用于半導體器件、MEMS、金屬鍍層、油漆鍍層、玻璃鍍膜、太陽能、LED、觸摸屏、醫療等領域。
【主要參數】
垂直量程 | 1mm |
垂直分辨率 | 0.1nm |
單次掃描長度 | 55mm ( 300mm) |
樣品高度 | 50mm |
樣品臺尺寸 | 300mmX300mm （自動） 350mmX350mm（自動） |
樣品臺旋轉 | 兩點定位 360 度連續旋轉 |
臺階測試精度 | <4?( 1sigma on 1μm step) |
觀察系統 | 雙鏡頭設置 |
環保在線