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深圳九州工業品有限公司
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產品簡介
| 材質 | 其他 | 流量 | 01m3/h |
|---|---|---|---|
| 驅動方式 | 其他 | 性能 | 耐腐蝕 |
通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。
采用ULVAC獨設計的轉子軸，實現高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區域連續運行。
產品介紹
ulvac-kiko真空泵 螺桿型干泵 泵 MS120A/MS600A
ulvac-kiko真空泵 螺桿型干泵 泵 MS120A/MS600A
MS系列是螺桿型干式真空泵。在傳統的LS系列的基礎上，提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設計。
特點
通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。
采用ULVAC特設計的轉子軸，實現高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區域連續運行。
用途
半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統，如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。
真空熱處理爐真空排氣系統，如燒結爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設備真空排氣系統，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。
醫療食品設備相關的真空排氣系統，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。
規格
型式 MS120A MS600A MS1200A 最大排氣速度 *1 m3/h 115 560 980 到達壓力 Pa ≦0.6 ≦0.1 電源電壓 200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10% 消費電力概略值 *2 kW 2.4 3.1 3.1 冷卻水量 L/min >4.0 Purge gas量 *1 SLM 0~50 最大水蒸氣處理量 *1*3 kg/h 1.5 噪音值 *1 dB(A) 61 62 64 吸氣口 KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) ISO-F-80 ISO-F-100 排氣口 KF40 質量 *4 kg 139 241 264 適用規格 CE、cTUVus
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