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VLP?SA020JHulvac-kiko 真空閥 真空角閥 雙動式
參考價: 660000
訂貨量: 1000
具體成交價以合同協議為準
  • VLP?SA020JH 產品型號
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訪問次數:948更新時間:2023-04-11 14:34:53

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產品簡介
產地 國產
ulvac-kiko 真空閥 真空角閥 雙動式VLP?SA020JH
UNECS系列是可以高速、高精度測量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。
采用特的測量方式,實現了高速測量和機體的小型化。
產品介紹

ulvac-kiko  真空閥 真空角閥 雙動式VLP?SA020JH

ulvac-kiko  真空閥 真空角閥 雙動式VLP?SA020JH



UNECS系列是可以高速、高精度測量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。

采用特的測量方式,實現了高速測量和機體的小型化。

我們的產品陣容包括特的便攜式,自動式和對應真空環境的設備內置式類型。

UNECS-Portable,測量部的重量只有2.2kg重量輕且緊湊,是易于攜帶的便攜式類型。

可用于真空設備現場驗收試驗,可以通過分離樣品臺直接放在樣品上進行大尺寸樣品的測量。

特點

  • 高速測定:

    獨的快照方法可實現高達20 ms的高速測量。

  • 適用于可見光譜:

    波長范圍可選標準類型(530nm至750nm)和可見光譜類型(380nm至760nm)。

  • 緊湊型傳感器單元:

    光發射和接收的傳感器僅由沒有旋轉機構的光學部件組成,因此非常輕且緊湊,并且不需要定期維護。

  • 豐富的產品陣容:

    產品陣容應用廣泛,包括如獨的便攜類型,手動/自動平臺類型,大型基板類型,以及支持大氣/真空環境的內置類型。

用途

  • 透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,抗蝕劑,ITO等)的膜厚,折射率,消光系數的測量

規格

波長范圍530 ~ 750nm、380 ~ 760nm(選擇)
點徑Φ1mm、Φ0.3mm(選擇)
入射角度70o固定
膜厚再現性1σ = 0.1nm
膜厚范圍1nm ~ 2μm
測量時間受光:20ms ~ 3000ms 演算:300ms
平臺固定類型(Φ150mm以下、可拆卸)
控制PC筆記本類型(帶操作/分析軟件)
機器構成測量本體(帶固定臺)、控制器BOX、光源單元

操作PC(筆記本型)、使用說明書(CD)





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