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北京鐳測科技有限公司
專為計量檢測用戶打造的高精度雙頻激光干涉儀的高精度線性位移、長度檢測標定工具
滿足計量檢測用戶更穩定、更高精度、更便利的使用要求;
以光刻機用激光干涉測量系統為基礎,
在保留高穩定性、高精度、高采樣速率性能的同時,
將光源和測量信號接收處理單元集成在主機里,
一體化設計為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗;
典型頻差7±0.5 MHz,測速高達2m/s。
系統組成:
LH2000激光測頭及附件
環境補償單元
LaserLC測量軟件
線性位移測量鏡組(選配:角度、直線度、垂直度、平面度測量鏡組等)
光學調整附件
三腳架及其他測量附件
(欲了解更多單頻與雙頻干涉儀的性能特點和差異,請閱覽本網站解決方案欄目中的:雙頻激光干涉儀)
激光頭尺寸 | 330mm×110mm×95mm |
激光頭重量 | 3.3kg |
激光光束直徑 | 6mm |
激光功率 | >0.5mw |
真空波長 | 632.99nm |
頻差 | 可定制 典型值7±0.5 MHz |
工作溫度范圍 | +10℃~+30℃ |
儲存溫度范圍 | +15℃~+45℃ |
激光穩頻精度 | ±0.02ppm |
線性測量范圍 | 40m |
線性測量精度 | ±0.1ppm(真空中) ±0.4ppm*(使用LC-2000環境補償器) |
分辨率 | 1nm |
測量速度 | 2m/s |
工作電源 | 220V/50Hz |
懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。
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