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深圳市中圖儀器股份有限公司
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| 產地 | 國產 | 儀器種類 | 四轉盤共聚焦顯微鏡 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 材料領域 |
VT6000國產共聚焦顯微鏡以共聚焦技術為原理，在相同物鏡放大的條件下，所展示的圖像形態細節更清晰更微細，橫向分辨率更高，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。
中圖儀器VT6000國產共聚焦顯微鏡以共聚焦技術為原理，在相同物鏡放大的條件下，所展示的圖像形態細節更清晰更微細，橫向分辨率更高，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。
VT6000國產共聚焦顯微鏡一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。
1)3D測量功能：設備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；
2)影像測量功能：設備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能，可進行長度、角度、半徑等尺寸測量；
3)自動拼接功能：設備具備自動拼接功能，能夠實現大區域的拼接縫合測量；
4)數據處理功能：設備具備調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能；
5)分析工具功能：設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
6)批量分析功能：設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實現批量數據文件的快速分析功能；
7)便捷操作功能：設備配備操縱桿，支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調節、光源亮度調節、急停等；
8)光源安全功能：光源設置無人值守下的自動熄燈功能，當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源，防止光源高亮過熱損壞，并有效延長光源使用壽命；
9)鏡頭安全功能：設備配備壓力傳感器，并在鏡頭處進行了彈簧結構設計，確保當鏡頭碰撞后彈性回縮，進入急停狀態，大幅減小碰撞沖擊力，有效保護鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風險。
VT6000共聚焦顯微鏡配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像，對細節的展現纖毫畢現。它具有直觀測量的特點，能夠有效提高工作效率，更加快捷準確地完成日常任務。借助共聚焦顯微鏡，能有效提高工作效率，實現更準確的操作。
主要應用于半導體、光學膜材、顯示行業、超精密加工等諸多領域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中，其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數的檢測中。
3D形貌圖片：
| 型號 | VT6100 | |
行程范圍 | X | 100mm |
| Y | 100mm | |
| Z | 100mm | |
| 外形尺寸 | 520*380*600mm | |
| 儀器重量 | 50kg | |
| 測量原理 | 共聚焦光學系統 | |
| 顯微物鏡 | 10×;20×;50×;100× | |
| 視場范圍 | 120×120 μm~1.2×1.2 mm | |
高度測量 | 重復性(1σ) | 12nm |
| 顯示分辨率 | 0.5nm | |
寬度測量 | 重復性(1σ) | 40nm |
| 顯示分辨率 | 1nm | |
| XY位移平臺 | 負載 | 10kg |
| 控制方式 | 電動 | |
| Z0軸掃描范圍 | 10mm | |
| 物鏡塔臺 | 5孔電動 | |
| 光源 | 白光LED | |
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