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Chotest VT6000 共聚焦顯微鏡

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更新時間：2023-02-23 14:31:11瀏覽次數(shù)：411次

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產(chǎn)品簡介

Chotest VT6000 共聚焦顯微鏡

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品型號：VT6000
產(chǎn)品名稱：共聚焦顯微鏡
視場范圍：160×160μm～1.6×1.6mm
掃描幀率：≥10HZ
高度測量精度：±(0.2+L/100)μm
寬度測量精度：±2%
XY移動范圍：100×100mm
Z向移動范圍：100mm

主要特點：高速并行掃描，高精度、高重復(fù)性

一、產(chǎn)品簡介

　　VT6000共聚焦顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進行納米級測量的檢測儀器。它是以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合多孔盤并行掃描技術(shù)、精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

　　VT6000共聚焦顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、工、科研院所等領(lǐng)域中。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

二、應(yīng)用領(lǐng)域

　　對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應(yīng)用：

半導(dǎo)體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC

3C電子.藍(lán)寶石玻璃粗糙度、手機金屬殼模具瑕疵、手機油墨屏高度差

超精密加工.光學(xué)透鏡	精密加工.發(fā)動機葉片

精密加工.金字塔型金剛石磁頭	標(biāo)準(zhǔn)樣塊.單刻線臺階、多刻線粗糙度