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深圳市業(yè)冠儀器設(shè)備有限公司
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更新時間:2023-02-17 12:51:42瀏覽次數(shù):320次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線光干涉透射法檢測元件厚度差的原理:在激光干涉儀進(jìn)行透射測量時,激光光源發(fā)出的單色光,垂直向下經(jīng)過被檢元件上、下兩表面被標(biāo)準(zhǔn)反射鏡反射后會形成干涉條紋,每個點(diǎn)上所生的干涉條紋取決于該點(diǎn)上兩相干的光的光程差
光干涉透射法檢測元件厚度差的原理:
在激光干涉儀進(jìn)行透射測量時,激光光源發(fā)出的單色光,垂直向下經(jīng)過被檢元件上、下兩表面被標(biāo)準(zhǔn)反射鏡反射后會形成干涉條紋,每個點(diǎn)上所生的干涉條紋取決于該點(diǎn)上兩相干的光的光程差。當(dāng)光程差為nλ+0.5λ時,顯示為暗條紋;當(dāng)光程差為nλ+λ時,顯示為亮條紋;
所以,當(dāng)被檢元件的兩個面不平行,存在楔角時,沿楔角方向,元件的厚度逐漸增大,相應(yīng)的光程差也逐漸變大,沿楔角方向就會產(chǎn)生間隔分布亮暗條紋。楔角越大,條紋越密集。
檢測指標(biāo)的簡單說明:
PV值在數(shù)學(xué)上的定義是峰谷值( Peak to Valley),即值和最小值的差值。單位是λ(波長)。對應(yīng)到干涉儀透射檢測上,就是被檢元件的厚度差。
RMS值在數(shù)學(xué)上的定義是均方根值(root-mean-square),單位是λ(波長),這是一個統(tǒng)計(jì)值,RMS的大小反映了這些數(shù)據(jù)值的離散程度。對應(yīng)到干涉儀透射檢測上,RMS值越小表明被檢元件的厚度平滑性越好,高低起伏越少。
條紋根數(shù)是肉眼可見的被檢元件厚度差的直觀表現(xiàn),與PV值成線性關(guān)系。條紋根數(shù)越少表明被檢元件的厚度差越小。
技術(shù)參數(shù):
實(shí)物圖:
儀器參數(shù):
序號 | 名稱 | GBM08A |
1 | 測量原理 | 菲索干涉原理 |
2 | 激光器 | 半導(dǎo)體激光器 635nm 940nm |
3 | 有效孔徑 | 30mm (允許同時管控8個孔) |
4 | 標(biāo)準(zhǔn)鏡面形精度 | 0.05λ |
5 | 面形值重復(fù)精度 | PV 0.06λ(標(biāo)準(zhǔn)片) |
6 | 面形值量程 | PV 0~3λ |
7 | 測試時間 | PV測試:1秒;條紋數(shù)測試:1秒內(nèi) |
8 | 夾具 | 有 |
9 | 軟件 | PVmeter |
10 | 電源 | 220V 60W |
11 | 通訊接口 | USB |
12 | 重量 | 15Kg |
13 | 自動化接口 | 預(yù)留 |
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