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上海沃盾精密設備科技有限公司
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激光干涉儀GPI XP/D
GPI XP/D激光干涉儀--運用移相干與原理，供給高精度的平面面形，球面面形，曲率半徑，樣品表面質量，傳輸波前的測量和分析。GPI XP/D是ZYGO在中國乃至較高的一款激光干與儀，廣泛應用于科研教育和生產檢測中。GPI XP/D主機為Fizeau型干與儀，測量精度高且操作簡單，選用精密移相技能和高分辨率CCD接收器件640Х480（可以升級為1024×1024），合作功能強大MetroPro軟件可以獲得高重復性和高精度的測量成果，其三平板測量重復性優于λ/300，rms重復性優于λ/10,000。并能模仿樣品表面面形，并顯示明顯的，可旋轉的3D彩色圖畫，可選的剖面圖以及各種統計數字成果等。同時，針對特別的樣品、特別的測量需求，可以為用戶規劃定制特別的測量系統，結合MetroPro軟件，為用戶供給的技能解決方案并獲得滿意的測量成果。
系統：
◆測量功用：精細測量各種反射面和光學系統的外表描摹及特性
◆測量方法：激光3維相移干涉法
◆測量功用：精細測量各種不同反射面或光學面的描摹及特性
◆測量光束直徑：4″(102 mm)和6″(152 mm)
◆裝備：水平式,立式向下或立式向上
◆光學中心線：4.25″(108 mm)
◆對準系統：快速條紋采樣系統(QFAS)(雙光點定位于十字線)
◆擴大規模：6:1（非接連式擴大，低失真）
◆調整可視規模：4″:±3°6″:±2°
◆光曈調焦規模：-800 mm/+1600 mm，4″孔徑
◆樣件觀察：計算機實時顯現/單獨監視器
◆計算機：DELL PC；配有硬盤，光驅，17英寸液晶彩顯,可選配打印機
◆軟件：Microsoft??Windows XP專業版下運行的ZYGO MetroProTM軟件
◆尺寸(高x寬x長)：水平式4″:308 x 694 x 308 mm，水平式6″:308 x 992 x 308 mm，立式:H x 686x686 mm
激光：
◆類型：II級氦-氖激光
◆波長：632.8 nm
◆通光孔徑輸出功率：≤1 mw
◆光束偏振態：圓偏振，可選線偏振開關
◆相干長度：＞100 m
樣件特性：
◆材質：各種不同的玻璃、超精加工金屬、陶和塑料
◆預處理：無需特殊處理，非接觸、非破壞性測量，在現場環境中操作。
◆樣件大小(高x寬x長)：254 x 203 x 203 mm（帶2軸調整架）
◆樣件分量：≤22.7 Kg（帶2軸調整架）
◆反射率：0.1%-
性能參數：
◆3平板測量重復性：λ/300(2σ)
◆RMS重復性：2λ/10,000(2σ)
◆數據采樣：640x480像素,8位，可選：1K x 1K像素
◆分辨率：>λ/8,000
◆條紋分辨率：180條紋
◆數據采樣時刻：低分辨率(7幅數據圖畫):93 ms，高分辨率(13幅數據圖畫):173 ms
環境要求：
◆溫度：15°C-30°C(60°F-95°F)
◆溫度變化率：<1.0°C/15min
◆濕度：相對濕度5%-95%,無凝結
◆防震：需要阻隔1-120Hz的轟動
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