產(chǎn)品簡介
NCS-R90 無接觸方塊電阻測試系統(tǒng)是一款廣泛應(yīng)用于太陽能電池片制造過程中對(duì)表面方塊電阻進(jìn)行無損測量的專業(yè)儀器。該儀器適用于Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料，所有的設(shè)計(jì)都符合ASTM（美國材料實(shí)驗(yàn)協(xié)會(huì)）和Semi標(biāo)準(zhǔn)，確保與其他工藝儀器的兼容與統(tǒng)一。
產(chǎn)品特點(diǎn)
■ 無接觸無損傷測量
■ 適用的晶圓材料包括Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料
■ 抗干擾強(qiáng)，穩(wěn)定性好
■ 強(qiáng)大的工控機(jī)控制和大屏幕顯示
■ 一體化設(shè)計(jì)操作更方便，系統(tǒng)穩(wěn)定
■ 為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供精確的無接觸測量
■ 使用MTI Instruments*的推/拉技術(shù)
■ 能適應(yīng)淺結(jié)測試
■ 不會(huì)穿透PN結(jié)
技術(shù)指標(biāo)
■ 測試尺寸：50mm- 300mm.
■ 測量范圍：5-2000ohm/sq
■ 測量精度：2%
■ 測量重復(fù)精度：1%
環(huán)保在線