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BPG402-Sx 大氣壓至超高真空真空計

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更新時間:2023-11-28 13:13:28瀏覽次數:191次

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商鋪產品:14條

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產品簡介

益處測量范圍非常廣

詳細介紹

益處

  • 測量范圍非常廣,從 5×10-10 毫巴至大氣壓(3.8×10-10 托至大氣壓)
  • 10-8 … 10-2 毫巴過程壓力范圍內 5% 的優良可重復性
  • 皮拉尼聯鎖保護燈絲,防止過早燒毀
  • 兩根使用壽命長的氧化釔銥絲
  • 備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
  • 高真空皮拉尼自動調節,減少操作員干預
  • 易于更換的傳感元件與板載校準數據確保高再現性
  • RoHS 合規

典型應用

  • 對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量
  • 工業鍍膜
  • 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制

新聞

NEW! With EtherCAT digital interface available now !


規格

類型

BPG402-S

測量范圍(空氣、O2CON2

5×10-10 … 1000 

精度

 

10-8 … 10-2 毫巴

% of reading

±15

可重復性

 

10-8 … 10-2 毫巴

% of reading

5

除氣 (1)

 

p < 7.2 × 10-6

mbar

electron bombardment, max. 3 min

壓力,更大

bar (absolute)

2

溫度

 

運行(環境)

°C

… +50

貯存

°C

-20 … +70

在法蘭處烘烤,無電子設備 BPG402-S

°C

80

無電子設備,在法蘭處烘烤 BPG402-SL

°C

150

電源電壓

+20 … +28

輸出信號模擬

 

輸出信號

V

… +10

測量范圍

V

+0.774 … +10

電壓與壓強

volts per decade

0.75

錯誤信號

V

0.1 / 0.3 / 0.5

更小負載電阻

k

10

設定點繼電器

 

設定點數量

1

范圍

mbar

1×10-9 … 100

繼電器觸點

n.o., potential free

滯后

% of reading

10

觸點額定值

30

數字功能

degas

接口(數字)(2)

RS232C

發射控制

automatic / manual via interface

單絲

two Yt2O2 coated Ir

單絲狀態/繼電器

LED / relay

電氣連接

D-Sub, 15-pin, male

電纜長度,更大 (3)

m (ft.)

100 (330)

暴露于真空的材料

Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

內部容積 KF / CF

cm(in.3)

24 (1.46) / 34 (2.1)

重量 KF / CF

g

450 / 710

保護等級

IP30

Profibus DP

 

波特率

9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

地址

2 switches (address 00 - 127) or network programmable

數字功能

read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模擬功能

… 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

設定點繼電器: 設定點數量

2

設定點繼電器: 范圍

mbar

1×10-9 … 100

設定點繼電器: 繼電器觸點

n.o., potential free

設定點繼電器: 滯后

% of reading

10

設定點繼電器: 觸點額定值

30

Profibus DP 連接器

D-Sub, 9-pin, female

CDG(模擬輸出、電源電壓、設定點)連接器

D-Sub, 15-pin, male

DeviceNet

 

協議

DeviceNet, group 2 slave only

數據率開關

kBaud

125, 250, 500 or network programmable

電纜長度 125 kbps

m (ft.)

500 (1650)

電纜長度 250 kbps

m (ft.)

250 (825)

電纜長度 500 kbps

m (ft.)

100 (330)

MAC ID

2 switches (address 00 - 63) or network programmable

數字功能

read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模擬功能

… 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

技術規格

DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"

設備類型

''CG'' for combination gauge

I / O 從屬傳訊

polling only

設定點繼電器: 設定點數量

2

設定點繼電器: 范圍

mbar

1×10-9 … 100

設定點繼電器: 繼電器觸點

n.o., potential free

設定點繼電器: 滯后

% of reading

10

設定點繼電器: 觸點額定值

30

DeviceNet™ 電源電壓

+11 … +25

真空計電源電壓

+20 … +28

DeviceNet™ 連接器

Microstyle, 5-pin

BPG(模擬輸出、電源電壓、設定點)連接器

D-Sub, 15-pin, male

1) 除氣期間降低精度

2) 同時使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器,不允許使用現場總線

3) 適用于 RS232C 運行 <30m

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