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HPG400 大氣壓至高真空真空計

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更新時間：2023-11-27 12:56:40瀏覽次數：167次

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產品簡介

益處HPG400可節省成本和工具空間

詳細介紹

益處

HPG400 可節省成本和工具空間，降低真空系統安裝與設置的復雜性
高壓熱電離真空計可以準確可靠地測量 1×10^-5 … 1 毫巴范圍內的壓力，進而改善過程控制
用戶可選的熱離子發射在 5×10^-2 至 1 毫巴之間啟動
皮拉尼聯鎖保護熱絲，防止過早燒毀
備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
高真空皮拉尼自動調節，減少操作員干預
RoHS 合規

典型應用

半導體制造、電子和媒介產業中的濺射應用
工業鍍膜

低真空和高真空范圍內的一般真空測量和控制

規格

類型			HPG400
測量范圍（空氣，N2）		2×10-6 … 1000
精度
10-5 … 1 毫巴	% of reading	±15 (1)
可重復性
10-5 … 10-1 毫巴	% of reading	2
10-1 … 100 毫巴	% of reading	30
熱離子發射，可選：
選購件 1	mbar	1
選購件 2	mbar	5×10-1
選購件 3	mbar	2×10-1
選購件 4	mbar	1×10-1
選購件 5	mbar	5×10-2
壓力，更大	bar (absolute)	2
溫度
運行（環境）	°C	0 … +50
貯存	°C	-20 … +70
在法蘭處烘烤	°C	80
移除烘烤電子設備	°C	150
電源電壓		20 … 28
輸出信號模擬
輸出信號	V	0 … +10.2
測量范圍熱陰極	V	1.5 … 7.5
測量范圍皮拉尼	V	8.5 … 9.75
電壓比壓強熱陰極	volts per decade	1
電壓與壓強皮拉尼	volts per decade	0.25
錯誤信號熱陰極	V	0.3
錯誤信號皮拉尼	V	0.5
更小負載電阻	kΩ	10
接口（數字）(2)		RS232C
電氣連接		D-Sub, 15-pin, male
電纜長度，更大 (3)	m (ft.)	100 (330)
暴露于真空的材料		Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
內部容積 KF / CF	cm3 (in.3)	20 (1.2) / 30 (1.8)
重量 KF / CF	g	430 / 695
保護等級		IP30
DeviceNet™
協議		DeviceNet™, group 2 slave only
數據率開關	kBaud	125, 250, 500 or network programmable
電纜長度 125 kbps	m (ft.)	500 (1650)
電纜長度 250 kbps	m (ft.)	250 (825)
電纜長度 500 kbps	m (ft.)	100 (330)
MAC ID		2 switches (address 00 - 63) or network programmable
網絡規模		up to 64 nodes per segment
數字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
可視通信指示器		LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
技術規格		DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
設備類型		''CG'' for combination gauge
I / O 從屬傳訊		polling only
設定點繼電器：設定點數量		2
設定點繼電器：范圍	mbar	2×10-6 … 100
設定點繼電器：繼電器觸點		n.o., potential free
設定點繼電器：滯后	% of reading	10
設定點繼電器：觸點額定值		60
DeviceNet™ 電源電壓		11 … 25
真空計電源電壓	V (dc)	20 … 28
DeviceNet™ 連接器		Microstyle, 5-pin
HPG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器		D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP
波特率		9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址		2 switches (address 00 - 127) or network programmable
數字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
設定點繼電器：設定點數量		2
設定點繼電器：范圍	mbar	2×10-6 … 100
設定點繼電器：繼電器觸點		n.o., potential free
設定點繼電器：滯后	% of reading	10
設定點繼電器：觸點額定值		60
Profibus DP 連接器		D-Sub, 9-pin, female
HPG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器		D-Sub, 15-pin, male