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更新時間:2023-02-07 10:06:15瀏覽次數(shù):781次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線Mapping系列光譜橢偏儀是全自動高精度Mapping繪制化測量光譜橢偏儀,采用行業(yè)前沿創(chuàng)新技術(shù),配置全自動Mapping測量模塊。通過橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測量,快速實現(xiàn)薄膜全基片膜厚以及光學(xué)參數(shù)自定義繪制化測量表征分析。
一、概述
SE-Mapping 光譜橢偏儀是一款可定制化Mapping繪制化測量光譜橢偏儀,采用行業(yè)前沿創(chuàng)新技術(shù),配置全自動Mapping測量模塊,通過橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測量,快速實現(xiàn)薄膜全基片膜厚以及光學(xué)參數(shù)自定義繪制化測量表征分析。
■ 全基片橢偏繪制化測量解決方案;
■ 支持產(chǎn)品設(shè)計以及功能模塊定制化,一鍵繪制測量;
■ 配置Mapping模塊,全基片自定義多點定位測量能力;
■ 豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫,保證強大數(shù)據(jù)分析能力
二、產(chǎn)品特點
■ 采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源,光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm);
■ 高精度旋轉(zhuǎn)補償器調(diào)制、PCRSA配置,實現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集;
■ 具備全基片自定義多點自動定位測量能力,提供全面膜厚檢測分析報告;
■ 數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫,涵蓋了目前絕大部分的光電材料;
三、產(chǎn)品應(yīng)用
廣泛應(yīng)用OLED,LED,光伏,集成電路等工業(yè)應(yīng)用中,實現(xiàn)大尺寸全基片膜厚、光學(xué)常數(shù)以及膜厚分布快速測量與表征。
建議配件
真空泵 | 透射吸附組件 |
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