多角度激光橢偏儀（PH-LE型）專門針對晶硅太陽能電池絨面上的減反膜測量，能夠測量薄膜厚度及其光學常數，使用632.8nm波長氦氖激光器，具有*的精確度和準確度。
多角度激光橢偏儀 - 產品特點
■可以測量單晶電池片、多晶電池片
■可以測量拋光片，精確度和準確度*
■可以測量粗糙表面的“絨片”
■適用于對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的低反射光強進行測量
■可對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的退偏因數（偏振因數）進行測量和評估，提高測量精度
■配置有高穩定度補償器，提供zui小的漂移值和zui小的測量誤差
■配置有高精度的自動光學對準顯微鏡
■可進行20°－90°范圍內的多角度測量
多角度 - 測量特點
■非破環性檢測
■樣品準直簡單方便
■測量速度快
■可變入射角范圍寬
■測量
■軟件分析功能強
多角度 - 技術指標
■光源：He-Ne激光器
■光斑直徑：1-2mm
■入射角范圍：20°到90°,5°/步
■精度：0.002°~ 0.02°
■膜厚精度：0.01mm，對100nmSiO2on Si
■折射率精度：0.0005，對100nmSiO2on Si
■激光光斑：直徑1mm
■激光波長632.8 nm
多角度激光橢偏儀 - 產品特點
■可以測量單晶電池片、多晶電池片
■可以測量拋光片，精確度和準確度*
■可以測量粗糙表面的“絨片”
■適用于對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的低反射光強進行測量
■可對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的退偏因數（偏振因數）進行測量和評估，提高測量精度
■配置有高穩定度補償器，提供zui小的漂移值和zui小的測量誤差
■配置有高精度的自動光學對準顯微鏡
■可進行20°－90°范圍內的多角度測量
多角度 - 測量特點
■非破環性檢測
■樣品準直簡單方便
■測量速度快
■可變入射角范圍寬
■測量
■軟件分析功能強
多角度 - 技術指標
■光源：He-Ne激光器
■光斑直徑：1-2mm
■入射角范圍：20°到90°,5°/步
■精度：0.002°~ 0.02°
■膜厚精度：0.01mm，對100nmSiO2on Si
■折射率精度：0.0005，對100nmSiO2on Si
■激光光斑：直徑1mm
■激光波長632.8 nm
多角度 - 典型客戶
美國，歐洲，亞洲及國內太陽能及半導體客戶。
詳情咨詢：
北京合能陽光新能源技術有限公司
北京市通州區工業開發區光華路16號
： -104 -608
：肖
：xiaozongyong@henergysolar.com
公司：http://www.HenergySolar.com
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