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深圳納恩科技有限公司
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產品簡介：NE-PE10是一款小型真空等離子體表面處理儀，廣泛應用于科研院校，企業研發單位和小批量···
NE-PE10是一款小型真空等離子體表面處理儀，廣泛應用于科研院校，企業研發單位和小批量生產打樣。裝置的運行過程如下：將要被清洗的工件送人真空室并加以固定，啟動運行裝.置，開始排氣使真空室內的真空程度達到10Pa左右的標準.真空度。向真空室內引入等離子清洗用的氣體并使其壓力保持在100Pao根據清洗的材質不同可分別選用氧氣、氫氣、氯氣1或氮氣等氣體。在真空室內電極與接地裝置之間施加高頻電壓，使氣體被擊穿并通過輝光放電而發生離子化和產生出等離子體。讓在真空室產生的等離子體把被處理工件籠罩住并開始清洗，一般清洗處理持續幾十秒到幾分鐘。清洗完畢后切斷高頻電壓并將氣體及氣化的污垢排出,同時向真空室內鼓人空氣并將氣壓升至--一個大氣壓。
?耐用的高品質不銹鋼結構和固定裝置
?雙層托盤設計，可調節托盤間距
?8K 鏡面不銹鋼腔體，密封性
?可支持 13.56 MHz 射頻發生器，與網絡自動匹配(只對真空泵在系統外部)
?直觀的觸摸屏，過程參數實時監控。
?方便的定期校準設備連接驗證過程中使用的要求
?支持各種工藝氣體，包括氬氣，氧，氫，氦和氟化氣體
?通過聯鎖門或可移動的板
?兩個標準的電子質量流量控制器的氣體控制，有兩個額外控制器的選擇 ( 4 個)
| 序號 | 項目 | 型號規格 | 參數 |
| 1 | 等離子發生器 | 功率 | 0-300W可調 |
| 抗輻射干擾高頻匹配器 | 自動阻抗匹配，遠程通信控制 | ||
| 頻率 | 13.56MHz | ||
| 2 | 真空反應腔室 | 腔體材質 | 進口 316 不銹鋼，級密封 |
| 腔體容積 | 10L | ||
| 電極數量 | 2個鍍金鋁合金專用電極 | ||
| 電極間距 | 50mm | ||
| 3 | 氣路控制 | 氣體流量控制器 | 浮子針閥流量控制器， 0-500ML |
| 氣路數量 | 最小 2 路氣體，支持氧氣，氬氣，氮 氣，氫氣，四氟化碳等 | ||
| 4 | 放電電極架 | 內置水平式電極 | 200（W）×200（D）mm |
| 載物托盤 | L*W :200（W）×200（D）mm | ||
| 5 | 整機參數 | 整機功率 | 1000W |
| 外形尺寸 | 長*寬*高 ： 550mm(L)×550mm(W) ×650 mm(H) |
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