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NE-PE02等離子體表面處理儀

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更新時(shí)間:2023-03-18 15:05:01瀏覽次數(shù):239次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介:NE-PE02是一款小型等離子體表面處理儀,廣泛應(yīng)用于科研院校,企業(yè)研發(fā)單位和小批量生產(chǎn)···

詳細(xì)介紹

等離子體表面處理儀產(chǎn)品簡(jiǎn)介

等離子源-2.png

NE-PE02是一款小型等離子體表面處理儀,廣泛應(yīng)用于科研院校,企業(yè)研發(fā)單位和小批量生產(chǎn)打樣。設(shè)備采用進(jìn)口品牌高性能旋片真空泵快速產(chǎn)生一個(gè)小于1-2Pa的真空壓強(qiáng),同時(shí)根據(jù)客戶工藝要求,對(duì)真空反應(yīng)腔室內(nèi)通入不同的混合工藝氣體,采用進(jìn)口高品質(zhì)等離子發(fā)生器,使得通入的工藝氣體產(chǎn)生等離子體,并確保穩(wěn)定產(chǎn)生高密度,高能量的離子。等離子體與材料發(fā)生復(fù)雜的物理,化學(xué)反應(yīng),可以實(shí)現(xiàn)不同的工藝功能,比如清洗,活化,刻蝕與涂敷等。等離子態(tài)顯著的特點(diǎn)是高均勻性輝光放電,根據(jù)不同氣體發(fā)出從藍(lán)色到深紫色的色彩可見光。

等離子體表面處理儀功能特點(diǎn):

?耐用的高品質(zhì)不銹鋼結(jié)構(gòu)和固定裝置 

?雙層托盤設(shè)計(jì),可調(diào)節(jié)托盤間距

?8K 鏡面不銹鋼腔體,密封性 

?可支持 13.56 MHz 射頻發(fā)生器,與網(wǎng)絡(luò)自動(dòng)匹配(只對(duì)真空泵在系統(tǒng)外部)

?直觀的觸摸屏,過程參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)控。 

?方便的定期校準(zhǔn)設(shè)備連接驗(yàn)證過程中使用的要求 

?支持各種工藝氣體,包括氬氣,氧,氫,氦和氟化氣體 

?通過聯(lián)鎖門或可移動(dòng)的板 

?兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的電子質(zhì)量流量控制器的氣體控制,有兩個(gè)額外控制器的選擇 ( 4 個(gè))

等離子體表面處理儀產(chǎn)品參數(shù):

序號(hào)項(xiàng)目型號(hào)規(guī)格參數(shù)
1等離子發(fā)生器
功率0-300W可調(diào)
抗輻射干擾高頻匹配器自動(dòng)阻抗匹配,遠(yuǎn)程通信控制
頻率40KHz 
2
真空反應(yīng)腔室腔體材質(zhì)進(jìn)口 316 不銹鋼,級(jí)密封
腔體容積2L
電極數(shù)量1 個(gè)鍍金鋁合金專用電極+1 個(gè)不銹鋼 托盤
腔體直徑(圓形)100(W)×270(D)mm
有效處理范圍80(W)*235(D)mm
絕緣陶瓷進(jìn)口高頻陶瓷
3氣路控制
氣體流量控制器浮子針閥流量控制器, 0-500ML
氣路數(shù)量最小 2 路氣體,支持氧氣,氬氣,氮 氣,氫氣,四氟化碳等
4整機(jī)參數(shù)
整機(jī)功率1000W
外形尺寸長(zhǎng)*寬*高 : 600mm(L)×450mm(W) ×450 mm(H)

小型等離子體表面處理儀常見應(yīng)用:

PDMS表面進(jìn)行親水化處理,經(jīng)過等離子體表面處理后鍵合,形成微流控芯片;

應(yīng)用等離子體表面處理儀處理木塑基材,提高表面活性水披覆轉(zhuǎn)印后從而提高產(chǎn)品表面的附著力;

利用光固化和微負(fù)型技術(shù)制備硅橡膠模具,在硅橡膠模具使用前進(jìn)行等離子處理,可以改善其親水性;

塑料封裝,鍵合前后增加等離子體表面處理工序,可以提高鍵合強(qiáng)度和模塑料與框架/基板界面結(jié)合強(qiáng)度;

對(duì)ITO表面進(jìn)行等離子體清洗可以降低成核勢(shì)壘并激活I(lǐng)TO表面上的懸空鍵;

等離子體表面處理儀可以有效清除鍵合區(qū)的污染物,提高鍵合區(qū)表面化學(xué)能及浸潤(rùn)性,因此在引線鍵合前進(jìn)行等離子處理可以大大降低鍵合的失效率,提高產(chǎn)品的可靠性。

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