石墨烯生長爐（PECVD）

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更新時間：2022-10-13 15:06:38瀏覽次數：369次

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產品簡介

石墨烯生長爐（PECVD）產品說明：石墨烯生長爐由YB-GT管式爐+真空系統+供氣系統+水冷系統組成，可以是單溫區、雙溫區、三溫區等，真空可以達到10-3Pa，供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合

詳細介紹

石墨烯生長爐（PECVD）

產品說明：
石墨烯生長爐由YB-GT管式爐+真空系統+供氣系統+水冷系統組成，可以是單溫區、雙溫區、三溫區等，真空可以達到10-3Pa，供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。
KJ-1200T管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表，能進行30段程序控溫，移相觸發、可控硅控制，爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、節能等優點。
軟件控制系統：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出。

一：基本參數：
1: 加熱爐部分

2 :爐膛模式開啟式爐膛

3 :顯示模式觸摸屏

4: 極限溫度 1400℃

5 :工作溫度 ≤1350℃

6: 升溫速率建議10℃/Min Max：30℃/Min

7 :預熱溫區長度 150mm

8 :主溫區長度 300mm

9 :預熱溫區移動手動移動

10: 主溫區移動自動移動，速度可以設定

二：設備特點：

1: 設備規格 2000*85*1400mm（長*寬*高）