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3軸機械臂真空3軸圓柱坐標型機械手臂

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海

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更新時間:2024-06-12 08:18:38瀏覽次數:66次

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產品簡介

真空3軸圓柱坐標型機械手臂特點:真空3軸圓柱坐標型機械手臂SVCR3000系

詳細介紹

真空3軸圓柱坐標型機械手臂特點: 


真空3軸圓柱坐標型機械手臂SVCR3000系。適用于真空腔室內的晶圓搬運

相比SVHR系列機械手臂,可搬運質量提升2倍,具有較好的性價比優勢

另外還保持了和SVHR系列機械手臂的兼容性,方便客戶對設備進行升級改造

機械手臂標準臂長:160mm, 190mm, 260mm, 330mm

手臂關節處使用磁流體密封裝置

真空密封:磁流體密封裝置和波紋管

提高潔凈度的方法:手臂內部排氣口安裝5µm級過濾器

配備動作監視器

控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式

全軸采用2相步進電機

S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓

可以選配2相步進電機規格

手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質

晶圓固定方式:下托式,利用晶圓自重的邊緣夾持式

可以針對搬運物體,客戶設備布局的實際情況提供的手指


真空3軸圓柱坐標型機械手臂基本參數


使用環境

真空部:溫度 15℃~50℃

驅動結構內部:潔凈間內的大氣環境

溫度 15℃~40℃

手臂

單臂

到達距離

520mm (手臂第3關節中心到達距離)

升降軸行程

20mm / 40mm

可搬運質量

2kg (手臂第3關節處基準)




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