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4軸機械臂小徑晶圓用4軸圓柱坐標潔凈機械手臂

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品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海

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更新時間:2024-06-12 08:13:01瀏覽次數:61次

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產品簡介

小徑晶圓用4軸圓柱坐標潔凈機械手臂特點:適用于超級潔凈間要求的3軸圓柱坐標潔凈機械手臂SCR3100S系列適用于半導體生產設備內部

詳細介紹

小徑晶圓用4軸圓柱坐標潔凈機械手臂特點: 


適用于超級潔凈間要求的3軸圓柱坐標潔凈機械手臂SCR3100S系列

適用于半導體生產設備內部,檢測設備等小尺寸晶圓的搬運,通過優化機械手臂的空間尺寸,

有利于實現設備的小型化

提高潔凈度的方法:手臂內部排氣口安裝0.1µm級過濾器

適應設備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式

配備動作監視器

控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式

全軸采用2相步進電機

S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓

晶圓固定方式: 真空吸附式,下托式,邊緣夾持式

手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質

可以針對搬運物體,客戶設備布局的實際情況提供的手指


小徑晶圓用4軸圓柱坐標潔凈機械手臂基本參數


使用環境

潔凈間內的大氣環境

手臂

單臂

到達距離

195mm (手臂第3關節中心到達距離)

升降軸行程

200mm / 300mm

可搬運質量

0.5kg (手臂第3關節處基準)




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