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上海衡鵬企業發展有限公司


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5軸機械臂5軸水平多關節型潔凈機械手臂

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海

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更新時間:2024-06-11 09:51:39瀏覽次數:88次

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產品簡介

5軸水平多關節型潔凈機械手臂特點:可用于300mm半導體晶圓搬送的5軸水平多關節潔凈機械手臂GTCR5000系列單臂雙手指結構能夠實現和雙臂結構同樣的功能適用于300mm半導體生產設備內部

詳細介紹

5軸水平多關節型潔凈機械手臂特點: 


可用于300mm半導體晶圓搬送的5軸水平多關節潔凈機械手臂GTCR5000系列

單臂雙手指結構能夠實現和雙臂結構同樣的功能

適用于300mm半導體生產設備內部,檢測設備等的晶圓搬運

機械手臂標準臂長: 210mm, 280mm

機械手臂可以單獨對應2個FOUP(210mm臂長)

或者3個FOUP(280mm臂長)

雙手指結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間

適應設備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式

配備動作監視器

控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式

全軸采用值編碼器規格的AC伺服電機

通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優化

能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓

晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式

手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質

可以針對被搬運物體種類,設備布局等要求提供的手指


5軸水平多關節型潔凈機械手臂基本參數


使用環境

潔凈間內的大氣環境

手臂

單臂

到達距離

553mm (手臂第3關節中心到達距離)

升降軸行程

300mm / 400mm / 500mm

可搬運質量

4kg (手臂第3關節處基準)




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