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迪派士（上海）測量儀器有限公司
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激光干涉儀3D方法 Lasertex HPI 3D激光測量系統直線度測量Lasertex HPI 3D激光測量系統可以用三種方式實現直線度測量：3D測量方法(常規配置)使用復合光學棱鏡組件使用精密直線度測量光學鏡組
測量方式 | 量程 | 分辨率 | 精度 |
3D測量方法 | 0-6 m | 0.1 μm | ±( 10+ 10 x L) μm |
使用復合光學棱鏡組件 | 0-15 m | 0.01 μm | ±0.2% |
使用精密直線度測量光學鏡組 | 0.3-9 m | 0.01 μm | ±0.5% x L μm |
3D測量方法
HPI-3D可以檢測沿測量軸向反光器RK1反射激光束的位置變化。如圖所示，以RL1返回的激光束作為基準，RK1返回激光束相對于基準的位置變化就可以被測出。測量結果既可以用于精密控制也可以用于直線度、垂直度或者平行度測量。
與主要的干涉定位精度測量不同，3D測量獲得數據結果精度略低。
使用復合光學棱鏡組件
如圖所示，激光束在經過IK1棱鏡時入射角為偏振角，生成兩條相互平行并且沿著測量軸向的激光束，1，2。
根據多普勒效應，當光學組件間的距離發生變化時，兩束光的頻率會發生改變。激光器僅僅對IK1與RK1之間的夾角變化非常敏感。測量結果可以用于修正較小的旋轉角度，比如機械運動的俯仰與偏擺。
使用精密直線度測量光學鏡組
這是另一種測量直線度，垂直度和平行度的方法。需要使用的光學組件套裝由2件鏡組組成，分光鏡WP2和反射鏡WRP2。經過WP2的光束會按特定夾角分成2束，當2束光的光路長度不一致時，就會被激光器測出。
使用精密直線度測量光學鏡組，WRP2應該作為固定基準，WP2沿著測量方向運動。每次測量一個方向的直線度。WP2不應距離WRP2過近。
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