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皮米精度激光干涉儀-IDS3010

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更新時(shí)間:2022-09-20 15:30:00瀏覽次數(shù):288次

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商鋪產(chǎn)品:16條

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

德國(guó)attocube公司在皮米精度位移激光干涉儀FPS的基礎(chǔ)上,推出了體積更小、適合集成到工業(yè)產(chǎn)品與同步輻射應(yīng)用中的IDS型號(hào)皮米精度位移激光干涉儀。與FPS型號(hào)干涉儀相似,IDS型號(hào)同樣適用于環(huán)境如高真空與高輻射環(huán)境并且具有精度與采樣速率。IDS產(chǎn)品是適合工業(yè)集成與工業(yè)網(wǎng)絡(luò)無(wú)縫連接的理想產(chǎn)品。產(chǎn)品在工業(yè)應(yīng)用中具有廣泛范圍前景,包括閉環(huán)位移反饋系統(tǒng)搭建、振動(dòng)測(cè)量、軸承誤差測(cè)量,實(shí)時(shí)......

詳細(xì)介紹

IDS3010激光干涉儀應(yīng)用領(lǐng)域


IDS3010充分滿足高分辨位移于定位的工業(yè)和科研需要,可應(yīng)用于

長(zhǎng)度測(cè)量、同步輻射、精密儀器、半導(dǎo)體工業(yè)以及顯微鏡。



IDS3010激光干涉儀產(chǎn)品特點(diǎn)


+ 設(shè)計(jì)緊湊(50mm x 55mm x 195mm),適合工業(yè)集成

+ 工業(yè)化界面,含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面

+ 測(cè)量速度快,定位樣品采樣帶寬10MHz

+ 環(huán)境補(bǔ)償單元,不同濕度、壓力環(huán)境中校正反射率參數(shù)提高測(cè)量精度

+ 校正簡(jiǎn)單,配備可見激光(650nm)用于校正測(cè)量激光(1530nm)

+ 測(cè)量精度高,探測(cè)器分辨率高達(dá)1 pm



IDS3010激光干涉儀主機(jī)尺寸與接口


關(guān)鍵詞:激光干涉儀 顯微鏡
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