IDS3010激光干涉儀應(yīng)用領(lǐng)域
IDS3010充分滿足高分辨位移于定位的工業(yè)和科研需要,可應(yīng)用于
長(zhǎng)度測(cè)量、同步輻射、精密儀器、半導(dǎo)體工業(yè)以及顯微鏡。
IDS3010激光干涉儀產(chǎn)品特點(diǎn)
+ 設(shè)計(jì)緊湊(50mm x 55mm x 195mm),適合工業(yè)集成
+ 工業(yè)化界面,含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面
+ 測(cè)量速度快,定位樣品采樣帶寬10MHz
+ 環(huán)境補(bǔ)償單元,不同濕度、壓力環(huán)境中校正反射率參數(shù)提高測(cè)量精度
+ 校正簡(jiǎn)單,配備可見激光(650nm)用于校正測(cè)量激光(1530nm)
+ 測(cè)量精度高,探測(cè)器分辨率高達(dá)1 pm