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山東博科真空科技有限公司
概述 VDP系列變螺距螺桿真空泵采用的三段式變螺距轉子型線,高效節能、運行可靠,極限真空可達1.33Pa,可在大氣壓到極限壓力間的任何壓力下高效持續工作。 VDP系列采用變螺距干式螺桿技術,壓縮腔無需水或其他任何工作介質,避免泵送介質的冷凝和沉積,并且防止介質被油水污染,可獲得潔凈真空。廣泛應用于制藥、電子、化工、食品加工領域中的溶劑回收、真空干燥、真空蒸餾等工藝中。技術特點 吸入效率......
概述
VDP系列變螺距螺桿真空泵采用的三段式變螺距轉子型線,高效節能、運行可靠,極限真空可達1.33Pa,可在大氣壓到極限壓力間的任何壓力下高效持續工作。
VDP系列采用變螺距干式螺桿技術,壓縮腔無需水或其他任何工作介質,避免泵送介質的冷凝和沉積,并且防止介質被油水污染,可獲得潔凈真空。廣泛應用于制藥、電子、化工、食品加工領域中的溶劑回收、真空干燥、真空蒸餾等工藝中。
技術特點
吸入效率提高15%
極限真空可達1.33Pa
三段式可變螺距,節能可達35%
高效夾套水冷降低排氣溫度50%
G1級轉子動平衡,低噪音、低振動、無慣性力,可高速運穩定行
結構簡單、易保養、低維護費用,壽命長
可選用機械密封、唇形密封,結構簡單,密封可靠,確保零泄漏
耐腐性能好,介質接觸部位可噴涂哈氏合金涂層、特氟龍涂層、鎳基碳化鎢涂層
強腐蝕工況,泵體、螺桿等接觸物料的部件材質可采用雙相不銹鋼、316L不銹鋼等
運行范圍廣,可在大氣壓到極限壓力間的任何壓力下持續工作
可與羅茨泵、分子泵等串聯使用,在高真空工況下獲得高抽速。
工作原理
是一種變螺距雙螺桿真空泵。一對螺桿轉子在腔體內旋轉。泵送的介質被螺桿捕獲,經壓縮后輸送至排氣口。在壓縮過程中,螺桿轉子間不相互接觸,也不與腔體接觸。壓縮腔無需潤滑油或工作液。冷卻方式既可以采用直接水冷,也可以采用空氣冷熱交換器實現散熱器冷卻。由于可選技術方案和附件范圍廣泛,VDP系列螺桿真空泵可地適應各種工藝需求。所有產品系列包括七種規格,額定抽速從每小時 200立方米至 3000 立方米。
結構優勢
變螺距螺桿真空泵以其抽速范圍寬、結構簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無水無油污染等優點,得到越來越多使用單位的青睞。變螺距螺桿真空泵能夠真正做到即保證清潔的被抽空間,又不污染周圍環境,號稱21世紀綠色真空泵。
既可用于半導體行業,又可用于石化行業。可廣泛應用于電子、核能、化工、醫藥、食品工業等領域。在半導體工業中用于生產晶片、制造液晶顯示器、蝕刻、CVD制程;在核工業中用于核反應堆及核工業真空獲得;化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑,在脂肪酸生產中用來消除水污染,清除噴射器中的阻塞物;醫藥工業中用于回收藥液及藥物中間體,為人造器官生產提供清潔無菌條件,回收氣體消毒劑;食品工業中用于香料、香精濃縮,食品包裝等。應用范圍極為廣泛,產品市場前景看好。
以變螺距螺桿真空泵為基礎的羅茨—螺桿真空機組,可以代替傳統的羅茨—水環真空系統,在醫藥、化工、食品行業廣泛應用,具有占用空間小、能耗低、壽命長、可靠性好、無水蒸氣影響等優點,適合于各種氣體的排除和輸送。
優點及特征
●的真空處理能力:100-3000m3/Hr。
●不使用油和水,不會造成油和水的污染。
●低功耗、低噪音、低振動,動平衡好,沒有慣性力,可高速運行。
●設計結構簡單,易保養,維修費用低,沒有易損件,壽命長。
●適用范圍廣,具有高真空性能。
●使用壽命長,氣體接觸部位都具耐蝕耐涂層。
●可選用機械密封或唇形密封,密封可靠不會因污染而頻繁發生故障,軸承經久耐用。
●涂層標準:耐蝕耐熱哈氏合金、特氟龍、鎳基碳化鎢
■標準配件:
基座和防護罩
排氣消聲器及進氣分離器
過濾器
流量開關
止回閥
真空計
■可選配件:
回收罐
排氣冷凝器
入口真空緩沖罐
溫度開關
應用范圍
●變螺距螺桿泵在半導體合成及液晶生產上的應用,主要有半導體等離子增強氣相沉淀(PECVD)和反映離子刻蝕(RIE)工藝,液晶生產蝕刻制程和生產TFT熒幕電漿(PLASMA)的CVD制程中。此工藝要求返流為0,以保護工件免受污染。
●變螺距螺桿泵在石油化工中的應用,主要是抽取可凝性氣體,或有毒氣體,或腐蝕性氣體,或含有微塵的氣體。
●制藥行業,用于藥物的真空干燥,藥物中間體回收,回收氣體消毒劑,為人造器官提供清潔無菌條件等。
●化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收,例如萃取回收丙酮,多元醇等工藝
●工業排氣;集中式真空處理系統
●擠出機的混合工藝及板材的排氣工藝
●混合樹脂脫腥工藝;在脂肪酸生產中用于消除水污染,及噴射器中的阻塞物。
●涉及無油無水真空處理的所有應用
●食品行業用于香料,香精濃縮等。
技術參數
型號 | 抽氣量 | 極限壓力 | 電機功率 | 轉速 | 進氣 | 排氣 | 冷卻水量 | 噪聲 | 重量 |
M³/h | Pa | KW | rpm | mm | mm | L/min | dB | Kg | |
VDP-200 | 165 | 1.33 | 5.5 | 2900 | 50 | 40 | 10 | 75 | 250 |
VDP-320 | 260 | 1.33 | 5.5 | 2900 | 50 | 40 | 10 | 75 | 320 |
VDP-430 | 360 | 1.33 | 7.5 | 2900 | 65 | 50 | 15 | 78 | 380 |
VDP-650 | 550 | 1.33 | 11 | 2930 | 80 | 65 | 15 | 78 | 480 |
VDP-900 | 750 | 1.33 | 15 | 2930 | 100 | 80 | 20 | 80 | 600 |
VDP-1500 | 1250 | 1.33 | 30 | 2950 | 125 | 100 | 30 | 82 | 980 |
VDP-3000 | 2500 | 1.33 | 55 | 2950 | 200 | 125 | 40 | 82 | 1350 |
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